普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发 HiPace 系列涡轮分子泵，专为高真空、超高真空工况打造，具备大抽速，运转平稳，振动低。集成驱动模块，结构紧凑，安装维护便捷，适配科研实验、镀膜、半导体等设备。可实现快速建压，真空度表现优异，抗冲击性能好，运行寿命长。整机性能稳定可靠，适配多样真空系统，是工业与科研领域获取高品质真空环境的分子泵设备。
产品介绍
普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，是超高真空系统的核心设备之一，通过高速涡轮叶片输运气体分子来获得高真空环境，侧边的接口模块用于实现控制信号、供电等连接，广泛应用于半导体、科研实验等领域的真空系统中。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线，它展示了 N₂、He、Ar、H₂等气体在不同压强（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律，是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表，用于真空系统的选型与性能匹配。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该分子泵的接口规格（如 DN 100 ISO-K 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口）、安装孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸参数，用于指导其在真空系统中的安装适配。
坚固高性能涡轮泵，氮气工况最高抽速可达 300l/s，机身紧凑小巧，综合性能强劲。针对轻气体具备出色抽气速率，采用激光平衡技术，运行振动低，支持任意方位安装。搭载 TC400 集成驱动电子设备，配套丰富配件拓展应用场景，运行稳定耐用，调试安装简单，适配各类工业及科研设备，高效构建高真空工况。
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