普发真空(PFEIFFER VACUUM)HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发 HiPace 系列涡轮分子泵,可实现稳定超高真空,可选混合轴承与磁悬浮结构,启动迅速,低振动低噪音。支持多方位安装,部分型号具备耐腐蚀涂层,适配严苛工艺。搭载数字化通讯接口,兼容工业 4.0,适配各类前级泵。广泛用于质谱检漏、镀膜、半导体与科研实验室,性能可靠,维护便捷,是真空系统核心设备。
产品介绍
普发真空(PFEIFFER VACUUM)HiPace 系列涡轮分子泵,是超高真空系统的核心设备之一,通过高速旋转的涡轮叶片输运气体分子来获得高真空环境,广泛应用于半导体制造、科研实验等场景的真空系统中。

普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线,它展示了 N₂、He、Ar、H₂等气体在不同压强(单位:hPa)下的抽速(单位:l/s)变化规律,是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表,用于真空系统的选型与性能匹配分析。

普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸,标注了该分子泵的接口规格(如 DN 100 CF-F 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口)、安装孔位(M8 螺栓)及各部位尺寸参数,用于指导其在真空系统中的安装适配。



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