普发真空 HiCube 紧凑型涡轮分子真空泵机组
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摘要
普发真空 HiCube 紧凑型涡轮分子真空泵机组，一体化集成 HiPace 分子泵与前级泵，模块化布局，即插即用。搭载智能触控控制系统，支持远程监控，可实现超高洁净真空，极限真空可达 5×10⁻¹⁰ mbar。整机结构紧凑、运行低噪节能，维护便捷，可选干式 / 油式前级泵，适配实验室质谱、表面分析、小型镀膜、真空检漏等精密科研与工业高真空场景。
产品介绍
普发真空 HiCube 紧凑型涡轮分子真空泵机组：集成涡轮分子泵与前级泵，极限真空可达 10⁻¹⁰mbar，配备智能触控屏简化操作。紧凑结构省安装空间，性能稳定可靠，适配半导体制程、科研真空实验等高精真空场景，是该类领域的核心设备。
普发真空 HiCube 紧凑型涡轮分子真空泵机组：集成涡轮分子泵与前级泵，极限真空可达 10⁻¹⁰mbar，配备智能触控操作简化管控。紧凑尺寸（如图示占地小）适配狭小工位，性能稳定可靠，是半导体、科研真空工艺等高精真空场景的核心设备。
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