普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发 HiPace 涡轮分子泵 厦门太星供应德国普发 HiPace 系列涡轮分子泵，覆盖混合轴承与磁悬浮两种结构，搭载专利激光平衡技术，低震低噪、多姿态安装。抽速区间完整，轻气体压缩性能优异，可选防腐涂层适配严苛工艺，集成驱动控制器支持智能通讯。整机紧凑耐用、维护周期长，通过 SEMI S2 安全认证，适配质谱、电镜、半导体、镀膜设备，可配套干式前级泵、真空阀块成套供货。
产品介绍
普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，它是超高真空系统的核心设备之一，通过高速旋转的涡轮叶片输运气体分子来获得高真空环境，侧边的接口模块用于实现控制信号、供电等连接，广泛应用于半导体制造、科研实验等领域的真空系统中。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线，它展示了 N₂、He、Ar、H₂等气体在不同压强（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律，是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表，用于真空系统的选型与性能匹配。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该分子泵的接口规格（如 DN 100 ISO-K 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口）、安装孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸参数，用于指导其在真空系统中的安装适配。
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