普发真空 XY 轴精密真空定位平台(带升降补偿)
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摘要
厦门太星专营原装普发 XY 轴精密真空定位平台,搭载 Z 轴升降补偿结构,适配高低真空腔体使用。平台采用全金属低放气材质,伺服闭环驱动,微米级精准定位,补偿腔体形变带来的位移偏差。结构紧凑密封性佳,多用于半导体、真空镀膜、科研实验。我司现货供货,可按需选配行程,配套控制器与上门调试维保服务。
产品介绍
普发真空 XY 轴精密真空定位平台(带升降补偿)。它以银灰色为主体,搭配红色结构件,集成双旋钮微调机构与底部波纹管补偿段,适配高 / 超高真空环境,可实现 XY 平面精密平移与垂直方向位移补偿,刻度清晰、定位,是半导体、科研真空系统中样品定位的核心精密组件。

普发真空 XY 轴精密真空定位平台(带升降补偿)的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图,标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸,用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成,适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求,是真空系统设计的核心技术图纸。



本款精密十字接头滚柱导轨零背隙运行,滑粘卡顿,导轨与驱动无磨损、常年免维护。优化结构大幅削弱气压波动造成的位移偏移,配置大转轴千分微调螺丝,双向刻度读数直观。XY 全行程可足额启用,搭配通孔固定法兰与螺纹活动法兰,装配便捷,适配真空定位、精密检测设备,厦门太星现货供应。
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