普发真空 XY 轴精密真空定位平台（带旋转功能）
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主轴维修
摘要
普发真空 XY 轴精密真空定位平台（带旋转功能），专为高 / 超高真空环境打造，集成 XY 平移与 θ 轴旋转，三维定位。采用低释气、耐烘烤设计，真空兼容性强，重复定位精度达亚微米级，运行稳定无粉尘、无油污。适配半导体、光学检测、科研实验、真空镀膜等场景，结构紧凑、安装便捷，支持多轴联动与自动化控制，是精密制造与前沿科研的可靠定位解决方案。
产品介绍
普发真空 XY 轴精密真空定位平台（带旋转功能）。它以灰色为主体，搭配红色结构件，集成双旋钮微调机构，适配高 / 超高真空环境，可实现 XY 平面的精密平移与台面旋转，刻度清晰、定位，常用于半导体、科研真空系统中的样品或部件定位，是真空实验与制程的核心精密组件。
普发真空 XY 轴精密真空定位平台（带旋转功能）的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图，标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸，用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成，适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求，是真空系统设计的核心技术图纸。
精密十字接头滚柱导轨，采用零背隙设计，消除滑粘效应，导轨与驱动系统无磨损、免维护。稳定结构大幅降低压力变化带来的位置偏移，搭配大直径转轴千分尺螺丝，操作便捷、读数清晰，双向刻度直观。X、Y 轴行程可同时完全利用，配备通孔连接法兰与螺纹孔可移动法兰，安装灵活、适配性强，是高精度定位、精密检测与自动化设备的理想传动部件。
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