德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）DigiLine 系列真空计
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摘要
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）DigiLine 系列数字式真空计，采用陶瓷传感器技术，提供 0.1 至 1100 hPa 的高精度测量。其测量独立于气体类型，具备小零点漂移和精确温度补偿，确保数据稳定可靠。配备 EtherCAT 接口便于集成，交货附带校准报告。适用于工业真空系统、实验室及半导体制造等高精度测量场景。
产品介绍
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）DigiLine 系列真空计，是集成化的数字式真空压力测量设备。它采用 KF 法兰接口，可直接安装在真空腔体上，用于测量中高真空段的压力，通过数字信号输出，具备精度高、抗干扰强的特点，广泛应用于镀膜、半导体、科研等高真空系统。
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）DigiLine 系列真空计的工程安装尺寸图，标注了设备的总高、主体宽度、法兰外径及接口尺寸。该真空计为数字式真空压力测量设备，通过标准法兰连接真空腔体，用于中高真空段压力监测，广泛应用于各类高真空工艺系统。
高性能真空计采用双传感器组合技术，实现了从 5×10⁻¹⁰ hPa 超高真空到 1000 hPa 粗真空的超宽量程精确测量。配备 RS-485 数字接口和 0-10V 模拟输出，方便与各类控制系统集成。内置两个可编程开关点（继电器触点），可实现自动化过程控制或真空度报警。是科研实验室和工业生产中理想的真空测量与控制解决方案。
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