涡轮分子泵的转子（动叶轮组）
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分子泵维修
摘要
涡轮分子泵动叶轮组（复合转子），为高真空设备核心部件。采用精密多级叶片设计，高速旋转时通过动量传递驱动气体分子，实现稳定抽气。材质坚固耐疲劳，动平衡精度高，适配严苛工况，是半导体、科研等高洁净真空场景的理想配件。
产品介绍
涡轮分子泵的转子（动叶轮组），是高真空 / 超高真空设备的核心部件。它由多级动叶轮叠加而成，高速旋转时通过叶片带动气体分子定向运动，实现抽气，广泛用于半导体、科研等对洁净真空要求极高的场景。
复合涡轮分子泵的内部结构示意图，它由复合转子、主轴、电机组件、牵引级定子等部件组成，是超高真空设备的核心。它通过高速旋转的叶片带动气体分子定向运动，实现抽气，广泛用于半导体、科研等对洁净真空要求极高的场景。
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