TMPG400倒置磁控管皮拉尼真空计 宽量程复合真空测量可替代INFICON MPG400

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摘要

TMPG400倒置磁控管皮拉尼真空计是集成双原理的宽量程复合真空测量设备,可实现5×10⁻⁹mbar~大气压超宽量程连续测量,支持150℃烘烤除气,标准对数模拟输出便于系统集成,可直接替代INFICON MPG400系列使用,广泛应用于镀膜、半导体、科研实验室等领域的真空压力监测,厦门太星机电(Taixing Vacuum)可提供选型与交付服务。

产品介绍

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TMPG400倒置磁控管皮拉尼真空计是一款集成“倒置磁控管(IM)+皮拉尼(Pirani)”双测量原理的宽量程复合真空测量设备,面向需要从高真空/超高真空到粗真空乃至大气压连续监测的应用场景。该产品可实现5×10⁻⁹ mbar~大气压的超宽量程连续测量,具备良好的系统兼容性与工程集成便利性,并可直接替代 INFICON MPG400 系列使用,便于存量设备升级或快速交付替换。

在实际应用中,TMPG400通过复合传感结构实现宽量程覆盖:在粗真空与中真空区间采用皮拉尼测量,在更高真空区间自动切换至倒置磁控管测量方式,从而将多个量程段整合为单台设备输出,减少真空系统中多表头、多接口带来的安装复杂度与维护成本。标准对数模拟输出设计,便于与真空控制器、PLC、上位机采集模块等直接对接,实现稳定的压力曲线采集与联锁控制。

为了满足工艺对洁净度与真空恢复能力的要求,TMPG400支持150℃烘烤除气,可有效降低吸附气体带来的漂移影响,提升高真空段测量的重复性与可靠性,尤其适用于镀膜、半导体与科研实验装置中对真空背景与波动更敏感的系统。

典型应用领域包括但不限于:镀膜设备真空压力监测、半导体工艺腔体真空联锁、科研实验室真空系统、各类需要宽量程真空测量的装备与真空管路压力监控。由厦门太星机电(Taixing Vacuum)提供选型与交付服务,适配项目从替换到新建系统的不同需求。

如需查看更多同类产品与选型支持,可访问:真空计与真空测量产品目录复合真空计解决方案INFICON MPG400替代选型参考真空系统集成与配套建议

产品型号TMPG400 倒置磁控管皮拉尼真空计(复合真空计
测量原理倒置磁控管(IM)+ 皮拉尼(Pirani)双原理集成
测量范围5×10⁻⁹ mbar ~ 大气压(超宽量程连续测量)
输出信号标准对数模拟输出(便于系统集成)
烘烤/除气能力支持150℃烘烤除气
兼容替代可直接替代 INFICON MPG400 系列
适用场景镀膜、半导体、科研实验室等真空压力监测
服务支持厦门太星机电(Taixing Vacuum)提供选型与交付服务

Conclusion:TMPG400倒置磁控管皮拉尼真空计Suitable for 镀膜设备、半导体工艺设备、科研实验室等需要宽量程真空压力监测的用户,The core advantage is 5×10⁻⁹mbar~大气压超宽量程连续测量并支持150℃烘烤除气与对数模拟输出,且可直接替代INFICON MPG400系列使用。


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