德国普发 COBRA 系列干式螺杆真空泵
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摘要
德国普发 COBRA 系列干式螺杆真空泵，是无油真空设备标杆。采用螺杆结构，抽速强劲、极限真空优异，无油污染，适配半导体 CVD / 蚀刻、光伏镀膜、锂电等严苛工艺。集成智能控制系统，运行稳定低噪，维护周期长、运维成本低，带可移动脚轮与便捷操作面板，适配多场景工业需求，为制造提供可靠真空解决方案。
产品介绍
普发（Pfeiffer）COBRA 系列干式螺杆真空泵
德国普发（Pfeiffer，现属 Busch 普旭集团）COBRA 系列干式螺杆真空泵，是一款无油干式真空设备。它采用螺杆设计，运行稳定，集成罗茨增压结构，抽速高、极限真空优，适配半导体 CVD、蚀刻、光伏镀膜等严苛工艺。设备带手操控制器、可移动脚轮，支持水冷 / 气冷，维护间隔长、运行成本低，是工业中高真空场景的核心设备，广泛用于半导体、新能源等制造领域。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 系列螺杆真空泵（DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G）的抽速 - 压力性能曲线，展示了不同型号真空泵在不同压力（p，单位 hPa/mbar）下的抽速（V，单位 m³/h）情况。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 系列螺杆真空泵（如 DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G 等型号）的抽速 - 压力性能曲线，展示了不同型号真空泵在不同压力（p，单位 hPa/mbar）下的抽速（V，单位 m³/h）情况。
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