德国普发 COBRA 系列干式螺杆真空泵
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摘要
德国普发 COBRA 系列干式螺杆真空泵,是无油真空设备标杆。采用螺杆结构,抽速强劲、极限真空优异,无油污染,适配半导体 CVD / 蚀刻、光伏镀膜、锂电等严苛工艺。集成智能控制系统,运行稳定低噪,维护周期长、运维成本低,带可移动脚轮与便捷操作面板,适配多场景工业需求,为制造提供可靠真空解决方案。
产品介绍
普发(Pfeiffer)COBRA 系列干式螺杆真空泵
德国普发(Pfeiffer,现属 Busch 普旭集团)COBRA 系列干式螺杆真空泵,是一款无油干式真空设备。它采用螺杆设计,运行稳定,集成罗茨增压结构,抽速高、极限真空优,适配半导体 CVD、蚀刻、光伏镀膜等严苛工艺。设备带手操控制器、可移动脚轮,支持水冷 / 气冷,维护间隔长、运行成本低,是工业中高真空场景的核心设备,广泛用于半导体、新能源等制造领域。

普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 系列螺杆真空泵(DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G)的抽速 - 压力性能曲线,展示了不同型号真空泵在不同压力(p,单位 hPa/mbar)下的抽速(V,单位 m³/h)情况。

普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 系列螺杆真空泵(如 DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G 等型号)的抽速 - 压力性能曲线,展示了不同型号真空泵在不同压力(p,单位 hPa/mbar)下的抽速(V,单位 m³/h)情况。


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