普发真空电动 XY 轴精密定位平台

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关键词：普发真空

摘要

普发真空电动 XY 轴精密定位平台，专为高真空环境设计，采用低出气率材质与真空适配结构，可稳定适配超高真空系统。平台搭载精密驱动与闭环反馈，定位、重复性优异，XY 轴运动平稳无卡顿，结构紧凑易集成。适配真空镀膜、科研实验、半导体检测等场景，安装便捷，是真空腔内精密位移操控的可靠配件。

普发真空电动 XY 轴精密定位平台，专为高 / 超高真空环境设计，集成电动驱动与手动微调双模式，可实现 XY 平面微米级定位。高刚性结构保障运行稳定，适配半导体制程、真空物性测试等场景，是科研与工业领域实现样品精密操控的核心设备。

普发真空

普发真空电动 XY 轴精密定位平台的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图，标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸，用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成，适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求，是真空系统设计的核心技术图纸。

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精密十字接头滚柱导轨采用零背隙设计，无滑粘效应，运行平稳。导轨与驱动部件无磨损、免维护，使用寿命更长。稳定结构可大幅降低压力变化带来的位置偏移，XY 轴最大行程可同时完全使用，适配多场景精密位移。配备通孔连接法兰与螺纹孔移动法兰，限位开关全可调，安装与调试灵活便捷。

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