普发真空 XY 轴精密旋转定位平台(带升降补偿)
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摘要
德国普发原装 XY 轴精密旋转定位平台,原厂保障!集成 XY 轴联动、精密旋转与升降补偿核心功能,可实现高精度、高稳定性定位,适配真空环境作业,结构可靠性能稳定,是真空检漏、半导体加工、工业自动化、实验室精密定位的核心设备。
产品介绍
普发真空 XY 轴精密旋转定位平台(带升降补偿),专为高 / 超高真空环境设计,集成双旋钮微调机构,可实现 XY 平面微米级平移、台面旋转与垂直升降补偿。高密封性结构保障真空环境稳定,适配半导体制程、真空物理实验等场景,是科研与工业领域实现样品精密操控的核心设备。

普发真空 XY 轴精密旋转定位平台(带升降补偿)的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图,标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸,用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成,适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求,是真空系统设计的核心技术图纸。



精密十字接头滚柱导轨,原厂品质保障!采用零背隙核心设计,无滑粘效应,导轨与驱动无磨损、免维护。稳定结构大幅降低压力变化引发的位置偏移,X/Y 双行程可同时满负荷使用,标配通孔连接法兰 + 螺纹孔可移动法兰,限位开关全可调,适配各类精密传动场景。
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