普发真空 CF 法兰高真空三通腔体套件
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CF 系列真空盲板法兰
摘要
普发真空 CF 法兰高真空三通腔体套件 本品为普发真空原装高真空三通腔体套件，采用 316L 不锈钢精工打造，搭配 CF 刀口法兰金属密封结构，漏率低、耐温烘烤性能优异，可稳定适配高 / 超高真空系统。三通式布局满足多管路分流接驳需求，内壁洁净处理降低出气率，兼容半导体、科研实验室、真空镀膜等场景。套件配件齐全，安装便捷，是搭建高精度真空管路的理想组件。
产品介绍
普发真空 CF 法兰高真空三通腔体套件，专为高真空系统管路分流设计，采用 316L 不锈钢材质，电解抛光表面保障低放气率与高洁净度。套件含密封铜垫及紧固件，模块化设计支持快速组装，适配 CF 标准法兰，密封可靠。广泛应用于半导体制造、科研真空设备等场景，德国精密工艺保障，是真空系统组网的核心组件。
该图纸对应的普发真空一体化三通腔体，专为高真空系统组网设计，采用 316L 不锈钢材质，电解抛光表面保障低放气率与高洁净度。带安装底座实现稳固安装，多 CF 法兰接口支持灵活管路扩展，适配各类真空阀门、传感器。广泛用于半导体制造、科研真空设备，德国工艺保障密封可靠，是真空系统核心组网组件。
圆柱真空腔体采用固定法兰对位设计，内外壁经玻璃珠喷砂处理，表面均匀洁净、出气率更低。弯头一端固定一端可旋转，安装角度灵活可调，适配多种真空管路布局。交货含腔室、弯头、铜垫片及六角螺钉套件（含螺母、垫圈），出厂未组装，方便按需装配，是高真空系统搭建的优质配件。
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