普发（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵

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关键词： COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵

摘要

普发 COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵，专为半导体、镀膜等严苛制程打造，集成真空增压泵，采用螺杆技术，抽速强劲、运行稳定。间接水冷设计，氢气通量大，可应对高负荷工艺。维护间隔长、运营成本低，紧凑机身可直接集成前级泵与增压泵，支持智能监控，适配 CVD、ALD 等精密工艺，是真空制程的可靠之选。

产品介绍

普发（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵，也可称为普旭（Busch）COBRA DS 1000 G。它是面向半导体等严苛制程的新一代高抽速设备，集成真空增压泵，采用螺杆设计，运行稳定，具备间接水冷、高氢气通量等特性，维护间隔长、运营成本低，紧凑机身可直接集成前级泵与增压泵，适配化学气相沉积、原子层沉积等精密工艺场景。

COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 系列真空泵（DS 0700 G、DS 1000 G 、DS 2000 G ）的抽气速率 - 压力特性对比曲线图表。其中横坐标 “p” 代表压力，单位为 hPa（mbar），纵坐标 “Ṽ ” 代表抽气速率，单位是m 3 /h，该图表展示了不同型号真空泵在不同压力条件下的抽气速率变化情况，方便用户直观对比各型号性能差异。

COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵