普发真空 COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵

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关键词：普发真空 COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵

摘要

普发真空 COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵，德国精工制造，集成真空增压器，抽气效率出众。干式无油运行，洁净，耐粉尘与可凝气体，适配半导体、镀膜等严苛制程。间接水冷散热，维护简便、寿命长，运行稳定低噪，是工业真空场景的设备。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵，专为严苛制程设计的新一代高抽速真空设备。

它集成了真空增压器，抽气效率出众，可满足化学气相沉积、快速热处理等工艺需求。采用螺杆设计，运行稳定，耐粉尘与可凝气体，维护间隔长、运行成本低。间接水冷、高氢气通过量，紧凑一体化设计，是半导体、镀膜等领域的理想之选。

普发真空 COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 系列真空泵（DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G）的抽气速率 - 压力性能曲线对比图。横坐标 “p” 代表压力（单位：hPa（mbar）），纵坐标 “Ṽ” 代表抽气速率（单位：m3/h），展示了不同型号真空泵在不同压力下的抽气速率变化情况。

普发真空 COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 系列真空泵（DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G）的抽气速率 - 压力特性曲线对比图。图中横坐标 “p” 代表压力（单位：hPa（mbar）），纵坐标 “Ṽ” 代表抽气速率（单位：m 3 /h），展示了不同型号真空泵在不同压力下的抽气速率变化情况，可用于对比各型号性能差异。

普发真空 COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵