螺杆式干式真空泵
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摘要
螺杆式干式真空泵采用无油干式运行，精密螺杆转子设计，真空度高、抽速稳定，油污污染。具备耐腐蚀、低噪平稳、节能易维护等优势，适配半导体、制药、化工、锂电等高洁净真空场景，是工业真空系统的可靠之选。
产品介绍
螺杆式干式真空泵，它是一种无油污染的真空泵设备，通过螺杆转子的啮合运动实现气体抽排，具备抽速范围宽、真空度高、运行稳定等特点，常用于半导体、光伏、科研实验室等对真空环境洁净度和性能要求较高的场景，是干式真空系统的核心设备之一。
螺杆式干式真空泵的安装尺寸图纸，标注了该泵的外形尺寸（L、W、H）、接口布局及安装结构细节，用于指导该泵在真空系统中的安装与管路连接，是真空设备集成时的技术参考文件之一。
本集成变速驱动装置专为 PEM 燃料电池氢气再循环打造，搭载高进气压力电磁联轴器，可按不同工艺需求灵活调节体积流量，适配性强、运行稳定，提升氢能循环效率，是燃料电池系统配套的高性能核心部件。
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