普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 1603M 涡轮分子泵

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关键词： ATP 1603M 涡轮分子泵

摘要

纯涡轮分子泵搭载 5 轴磁轴承（无 Holweck 级），氦气吸气能力高达 2050 l/s，性能强劲。配备 DN250 ISO-F 连接法兰，采用集成驱动电子设备 OBC V4，运行稳定可靠。支持任意方向安装，远程控制 + 水冷设计且不加热，适配多样工况。通过 CE 标记与 RoHS 认证，无油清洁、低振动免维护，是科研、半导体等真空场景的核心设备。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 1603M 涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，是实现超高真空环境的关键设备，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。

ATP 1603M 涡轮分子泵

纯涡轮分子泵搭载 5 轴磁轴承（无 Holweck 级），氦气吸气能力高达 2050 l/s，性能强劲。配备 DN250 ISO-F 连接法兰，采用集成驱动电子设备 OBC V4，运行稳定可靠。支持任意方向安装，远程控制 + 水冷设计且不加热，适配多样工况。通过 CE 标记与 RoHS 认证，无油清洁、低振动免维护，是科研、半导体等真空场景的核心设备。