安捷伦控制器 4UHV
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摘要
安捷伦 4UHV 离子泵控制器是超高 / 极高真空系统核心设备，可同时独立供电、控制和监测 4 台不同类型及规格的离子泵。配备 4 行 LCD 大屏，实时显示电压、电流与压力数据，支持低至 1×10⁻¹⁰ mbar 测量。具备 STEP 电压调节、IProtect 防护功能，标配多接口远程控制，符合 EMC 标准，适配半导体、粒子加速、研发等场景，为严苛真空需求提供稳定可靠的智能控制方案。
产品介绍
安捷伦控制器 4UHV
4UHV 控制器
作为从安捷伦推出的 VacIon 泵系列的一员，4UHV 离子泵控制器能使您独立地启动、控制和监控多达 4 台抽速从 20 到 500 L/s 的离子泵。新的低电噪音设计可以让您在关键应用中自由地选择舍弃或减少电气噪声过滤器的使用。与所有安捷伦真空产品一样，我们致力于让您满意。我们能为您提供完善的服务和支持，满足您的特定需求。
特性
控制器可自动调节工作电压，从而优化抽气速率
通过利用模拟量输出或 RS232/485 端口，可以方便地访问真空系统所有的元件。
根据您的需要提供多种配置，能驱动一到四种不同尺寸，抽速从 20 到 500 L/s 的泵。
施加的高电压作为压力的函数而得到优化，从而提供更准确的压力读数，实现 10-10 mbar 超高压区域范围内的压力测量。
保护模式对电流进行了限制，以保护泵和控制器。
电缆配备有一个互锁系统，当插头从泵中移除时，该系统将立即关闭高压。
高压输出的交流分量减少到限度，从根本上消除了对额外过滤器的需求，特别适用于扫描电镜 (SEM) 应用。
采用安捷伦
性能指标
外形图
资料
部件号及说明
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