Agilent 安捷伦真空泵隔离阀
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摘要
Agilent 安捷伦真空泵隔离阀（VPI）是真空系统的可靠守护者，断电 30ms 内快速关闭，杜绝油返流与颗粒污染。直角式设计搭配中心锁定密封，流导最大化且不降抽速。入口侧放空设计避免重启时碎屑冲入，无需压缩空气即可运行。漏率低至 1×10⁻⁹ std cc/s He，适配多场景，为系统稳定与重启安全保驾护航。
产品介绍
Agilent 安捷伦真空泵隔离阀
真空泵隔离阀 (VPI)
安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵采取并联方式电连接，并且在断电时可以快速关闭，从而防止油返流或颗粒进入您的真空系统。该阀门还从入口侧对泵排空，这样可以将碎屑全部推向出口，从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。阀体设计和直角式构造提供了最大的真空流导。
一、特性
采用中心锁定机构实现可靠、可重复的密封
快速动作，在电源故障情况下阀门在 30 毫秒内关闭，防止油或污染物迁移，为您的真系统提供及时的保护
在泵入口侧进行泵放空，保持流向不变；油/碎屑不会冲入系统中
在泵入口压力恢复到系统压力之前保持关闭，以提供持续的保护并方便重启
在大气压下操作，并且在断电时执行，操作无需压缩空气
提供最大的流导，不降低抽速
二、性能指标
三、部件清单
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