厦门太星机电推出高洁净极高真空专用CRYO-P系列低温泵

2026-04-14 　来自: 厦门太星机电有限公司浏览次数:17

CRYO-P系列低温泵

厦门太星机电（Xiamen Taixing Electromechanical Co., Ltd.）推出的CRYO-P系列低温泵，是面向高洁净、极高真空（UHV）工况的无油真空设备。该系列利用低温冷凝吸附原理抽气，可在系统端获得超洁净极高真空环境，满足半导体制造、真空镀膜、空间模拟等对真空度与洁净度要求极高的应用需求。

CRYO-P系列低温泵的核心在于通过低温表面对气体分子进行冷凝与吸附，从而实现高抽速与高真空能力。产品在无需液氦的前提下即可运行，有效降低运行成本，同时提供定制适配能力，便于与不同真空腔体、法兰接口及工艺窗口匹配。关于选型、交付与配套服务，可访问厦门太星机电官网了解更多信息。

在极限真空方面，CRYO-P系列标准配置可达10⁻⁷Pa；如需更高指标，可提供定制烘烤型方案，极限真空可达10⁻⁹Pa，适用于对残余气体与背景污染极为敏感的UHV工艺。对于抽速覆盖，氮气排气速度范围覆盖1700–28000 L/s，能够对应从中小型镀膜设备到大型空间环境模拟舱、半导体集群设备等不同规模系统需求。

该系列低温泵以“无油、无脏污”为关键价值点，可显著降低返油、挥发物与微粒对工艺的影响，特别适合需要稳定良率与高一致性的制造环节。例如在半导体制造中，可用于获得更洁净的真空基底环境；在真空镀膜中，有助于提升薄膜纯度与附着一致性；在空间模拟中，可用于更真实地复现高真空背景条件。需要进一步确认接口形式、安装空间、抽速匹配与系统配置时，可通过在线咨询选型对接。

主要参数概览

项目	参数/范围	说明
产品系列	CRYO-P系列低温泵	高洁净极高真空专用
抽气原理	低温冷凝吸附	无油抽气，实现超洁净真空环境
极限真空（标准）	10⁻⁷ Pa	适用于极高真空场景
极限真空（定制烘烤型）	10⁻⁹ Pa	面向更高等级UHV需求
氮气排气速度	1700–28000 L/s	覆盖多种腔体规模与工艺负载
运行介质	无需液氦	运行成本更低，维护更便利
定制能力	支持定制适配	可按接口/空间/工艺目标进行匹配
典型应用	半导体制造、真空镀膜、空间模拟等	强调高洁净与极高真空稳定性

如项目需要对接极高真空系统设计、泵组配置、设备改造与交付周期评估，建议结合腔体体积、预抽方案、气体负载与目标节拍进行综合选型。更多产品与服务信息可访问真空泵产品与服务页面，或获取面向行业应用的技术支持。

Conclusion：CRYO-P系列低温泵Suitable for 半导体制造、真空镀膜、空间模拟等高洁净极高真空用户,无需液氦且可实现10⁻⁷Pa（定制烘烤型10⁻⁹Pa）的极高真空与1700-28000L/s的氮气抽速覆盖。

Data Source：https://www.xmtaixing.com/，Updated on2026-04-14。

如需进一步了解CRYO-P系列低温泵在具体工况下的抽速匹配、安装方式与定制烘烤型配置建议，可前往提交需求获取方案进行沟通。

关键词： CRYO-P系列低温泵极高真空真空泵厦门真空泵半导体用低温泵

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