普发真空罗茨泵 - 旋片泵集成式高真空机组(又称增压泵机组)

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摘要

普发真空罗茨泵 - 旋片泵集成高真空增压机组,由 HiLobe 罗茨增压泵搭配 DUO 旋片前级泵一体组成,预集成管路与保护装置,抽速大、抽空速度快。运行稳定,具备过载防护,极限真空表现优良,适合真空脱气、干燥、氦检、镀膜锁腔等工况,安装便捷,减少现场装配工作量。

产品介绍

普发真空罗茨泵 - 旋片泵集成式高真空机组(又称增压泵机组)。它由罗茨增压泵与旋片式前级泵组合而成,集成在钢制机架上,结构紧凑,适配半导体、镀膜等工业场景,可提供高抽速与高真空度,具备安装便捷、运行稳定的特点,是工业真空系统的核心动力单元。


普发真空罗茨旋片集成真空机组


普发真空 WD 220 型罗茨泵抽速 - 压差特性曲线。该图展示了泵在 50Hz 与 60Hz 两种电源频率下的抽速随入口压差的变化规律,横坐标为压差 Δp(单位 hPa/mbar),纵坐标为抽速 v(单位 m³/h),可用于评估泵在不同工况下的抽气性能,为真空系统选型与优化提供关键依据。


普发真空罗茨旋片集成真空机组



本款提供多种产品变体,可按需选型切换,选中对应型号即可查看配套参数、配件清单与详细技术资料。机组配置灵活,罗茨泵、旋片泵规格可选,适配不同抽速、真空度需求,满足脱气、干燥、镀膜、氦检等多样真空工艺,选型直观,方便快速匹配工况。


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