CTICryo-Torr 8/8F低温泵的主要维护套件，3PH轴承
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摘要
CTI Cryo-Torr 8/8F 低温泵主要维护套件，搭载 3PH 轴承组件，适配 Cryo-Torr 8、8F 高真空低温泵。全套包含轴承与配套密封件，轴承耐磨低摩擦，保障冷头平稳运转，降低氦气回路泄漏风险。尺寸可直接替换，装配简单，完成泵体大修保养，恢复低温泵抽速与极限真空。适配半导体镀膜高真空工艺，减少停机损耗，是冷泵定期大修备件。
产品介绍
CTI Cryo-Torr 8/8F 低温泵主维护套件（3PH 轴承）
本主维护套件为三相版本，适配 CTI Cryo-Torr 8/8F 低温泵，内含维修所需 O 型圈、置换器及三相轴承。三相轴承承载曲轴高速旋转动力，运转平稳、承载更强、振动噪音低；特种耐低温密封胶圈填充各装配间隙，深冷工况下弹性不衰减，稳定阻隔真空泄漏。配件规格匹配原厂，成套配齐全部易损件，可一次性完成泵体大修保养，快速解决异响、真空度下降等故障，缩短停机检修时长，降低真空设备运维成本，是镀膜、半导体工艺低温泵定期维保的可靠配套件。
CTI Cryo-Torr 8/8F 低温泵驱动置换组件维护套件（3PH 三相轴承款）
本套件适配 CTI Cryo-Torr 8/8F、Cryoplex 8/8LP 低温泵驱动置换总成，配备三相专用轴承、全套 O 型圈与配套易损件。三相轴承承载曲轴动力，承载能力强，运转平稳，有效降低泵体振动与噪音；特种耐低温密封件填充各装配缝隙，深冷环境下保持弹性，防止真空泄漏。轴承尺寸区分单相与三相，选型。整套配件一次性配齐，可完成驱动单元大修保养，快速修复异响、真空衰减故障，减少停机时长，降低半导体、镀膜真空产线运维成本。
CTI Cryo-Torr 8/8F 低温泵主维护套件（3PH 三相轴承，零件号 100151-3）
本款为主维护套件，内含维修 CT-8/8F 低温泵所需 O 型圈、置换器与三相轴承。三相轴承承载曲轴传动，承载能力强，运转平稳，降低泵体振动异响；耐低温特种密封件填充装配间隙，深冷工况保持弹性，真空泄漏。配件规格对标原厂，整套配齐易损件，可一次性完成泵体大修保养。低温泵搭配配套压缩机组成整套 Cryo-Torr 真空系统，压缩机可在本店选购，是半导体、镀膜等高洁净真空工艺的维保配件。
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