低温泵COOLVAC 30000 iCL
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摘要
莱宝 COOLVAC 30000 iCL 低温泵 莱宝 Leybold COOLVAC 30000 iCL 属于 ClassicLine 全自动再生低温泵，超大抽速，无油无碳氢污染，可直接获取洁净超高真空。集成内置安全阀，不锈钢泵体，搭载电加热全自动再生功能，对水汽、氮气、氩气抽气能力突出。运行稳定，适配大型真空腔体，广泛应用于光学镀膜、半导体、科研实验等高洁净超高真空工艺。
产品介绍
莱宝 COOLVAC 30000 iCL 低温泵
莱宝 COOLVAC 30000 iCL 低温泵配置 COOL.DRIVE 驱动单元，拥有超大抽速，输出无油洁净超高真空。大口径进气法兰，水汽抽除能力优异，内置辐射屏与障板降低热负荷。整机配备移动脚轮，移位便捷，集成阀组可实现自动再生泄压。设备运行稳定，抗杂质能力强，适配特大型镀膜、半导体超大腔体等高真空工况。
莱宝 COOLVAC 30000 iCL 低温泵侧视尺寸图纸，单位毫米。大规格进气法兰，整机配置双冷头结构，底部带脚轮支架，方便现场移动就位。图纸完整呈现泵体、驱动单元、管路与吊耳布局，用于腔体对接与场地空间校核。集成阀组支持自动再生，超大抽速无油真空，适用于特大型镀膜、半导体超大腔体高真空工艺。
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