高真空镀膜机组

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关键词: 真空镀膜机

摘要

 高真空镀膜机组

本款高真空镀膜机组采用不锈钢真空腔体,真空焊接工艺,配合分子泵机组快速获取高真空环境,搭载电控系统,运行稳定可靠。支持定制腔体规格,可满足光学镀膜、材料表面改性等科研生产需求。出厂严格真空检漏,漏率低,表面处理工艺可选,适配各类薄膜沉积工艺,整机配套完善,可提供设备维保与真空配件支持。

产品介绍

高真空镀膜机组

整套设备由不锈钢真空腔体、分子泵机组、真空电源控制系统组成。腔体采用优质不锈钢焊接加工,内壁抛光处理,漏率低,承压稳定。分子泵搭配前级旋片泵,可快速抽至高真空环境。电控模块集成显示面板,参数直观,操作便捷。 核心原理:依靠前级泵预抽,分子泵获得高真空环境,在真空腔体内完成薄膜沉积工艺。广泛用于光学镀膜、材料表面改性等行业,可定制腔体尺寸,配套各类真空配件,支持设备维保与配件更换服务。


真空镀膜机


实验室真空系统|真空腔体|真空探针台 详细介绍

超高真空系统核心参数

  1. 极限真空:单台分子泵可达 10⁻⁶Pa

  2. 控制方案:支持 PLC 全自动控制,可实现真空流程自动启停、压力监测与联锁保护。

定制化服务

  • 一对一图设计,采用三维建模软件按真实比例搭建模型,可依据客户文字需求、草图快速输出方案,方案定稿前设计免费。

  • 可配套选配指定品牌真空机组,腔体耐高温、耐腐蚀,加工精度高。

  • 焊接工艺:真空焊接拼装,搭配真空检漏设备,严格把控漏率,保障真空性能稳定。

客户前期需提供信息

  1. 工况温度:工作是否发热,高低温数值,是否需要水冷 / 液氨冷却;

  2. 材质需求:可选碳钢、铝合金、304 不锈钢、316 不锈钢等;

  3. 接口与抽气方案:连接结构、抽真空方式、配套真空泵型号;

  4. 真空指标:目标真空度,抽真空后是否需要充保护气体。

标准直筒腔体技术性能

  • 材质:默认 304 不锈钢,可按需更换材料

  • 使用温度区间:-190℃~+1200℃

  • 密封形式:橡胶 O 型圈密封 / 金属无氧铜密封

  • 出厂检测项目 ①真空漏率测试:标准漏率 1.3×10⁻⁸Pa・L/S ②水冷耐压测试:8 公斤压力保压 24 小时无渗漏

  • 表面处理:拉丝抛光、喷砂电解、酸洗、电解抛光、镜面抛光可选

整套系统可用于实验室真空实验、探针测试等场景,包含真空腔体、真空探针台,可整套集成交付,也可单独定制腔体、真空配件。



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