爱德华 IXH1220 干式真空泵配件材质工艺— 球铁定子、A200HP 高镍转子、烧结过滤
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摘要
本文聚焦爱德华 IXH1220 系列干式罗茨真空泵配件的材质工艺，涵盖球墨铸铁定子、A200HP 高镍耐腐蚀转子（含镍 ≥16%）、烧结金属粉末过滤器（5-10μm 精度）、波形弹片（碟形弹簧）、轴封的摩擦副设计等关键技术细节。文中给出不同工况下材质选型建议（标准版 vs A200HP 耐腐蚀版），并对爱德华原厂规格的工艺参数进行解读。
产品介绍
一、IXH1220 材质工艺核心
IXH1220 是一款紧凑型干式罗茨真空泵，所有易损件都暴露在被抽气体中。关键工艺体系：
· 基体材质：球墨铸铁 QT600-3
· 高镍转子：含镍 ≥16%
· 过滤器：烧结金属粉末（5-10μm）
· 摩擦副：碳化硅 vs 碳石墨
二、IXH1220 标准转子：球铁精加工工艺
2.1 X2-X4 / Y2-Y4 / LV 标准转子
物料编码
名称
工艺
TX110040253
X2 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040254
Y2 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040255
X3 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040256
Y3 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040257
X4 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040258
Y4 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040259
LV 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
图：X3 转子（标准版）— IXH1220 基础款
图：X3 Rotor
标准工艺三步曲：
· 基体：球墨铸铁 QT600-3（抗拉强度 ≥600 MPa）
· 精加工：CNC 车削，端面跳动 ≤0.01mm
· 动平衡：G2.5 级 @ 12000 RPM
三、A200HP 高镍转子（IXH1220 旗舰工艺）
针对腐蚀性工况，IXH1220 配套 A200HP 高镍版转子（料号 TX110044569-573）：
物料编码
名称
含镍量
适用工况
TX110044569
A200HP X3 高镍转子
≥16%
含 Cl₂ / HCl 的半导体刻蚀
TX110044570
A200HP Y3 高镍转子
≥16%
同上
TX110044571
A200HP X4 高镍转子
≥16%
同上
TX110044572
A200HP Y4 高镍转子
≥16%
同上
TX110044572
A200HP LV 高镍转子
≥16%
同上
图：LV 转子（标准版）— IXH1220 通用基础款
图：LV Rotor
A200HP 的核心优势：
· 在氧化性介质中形成稳定的钝化膜
· 对应力腐蚀开裂（SCC）免疫
· 动平衡精度 G2.5 级（12000 RPM）
· 在 IXH1220 配合面上做了微调优化
四、多级定子：2ND-4TH + LV + HVHP/LVHP
物料编码
名称
适配机型
工艺
TX110020224
2ND 定子
IXH1220
球墨铸铁 + 精车
TX110020225
3RD 定子
IXH1220
球墨铸铁 + 精车
TX110020226
4TH 定子
IXH1220
球墨铸铁 + 精车
TX110020227
LV 定子
IXH1220
球墨铸铁 + 精车
TX110020121
HVHP
IXH1220
球墨铸铁 + 高压比设计
TX110020129
LVHP
IXH1220
球墨铸铁 + 低压比设计
图：HVHP 定子 — IXH1220 高压比定子
图：HVHP Stator
定子设计要点：
· 球墨铸铁基体（QT600-3）
· 内孔精磨（Ra ≤0.4μm）
· 端面跳动 ≤0.02mm
· 与转子的配合间隙 0.08-0.12mm（IXH1220 较 IXH1820 略紧）
五、波形弹片
物料编码
名称
类型
应用位置
TX120040029
波形弹片
波形弹簧
转子端面
TX120040007
波形弹片（马达）
波形弹簧
马达端轴承预紧
波形弹片核心功能：
· 提供轴向预紧力，补偿转子热膨胀
· 吸收轴向冲击振动，延长轴承寿命
· 在轴封磨损后保持密封贴合
六、轴封：摩擦副精密配合
物料编码
名称
摩擦副
TX120010010
轴封
碳化硅 vs 碳石墨
TX120020078
轴套
不锈钢 316L
TX110600006
导向圈 DP&MB
PTFE + 青铜
图：DP & MB 导向圈 — 关键导向件
图：DP & MB Guide Ring
轴封关键工艺：
· 动环：碳化硅（HV2600），镜面抛光 Ra ≤0.02μm
· 静环：浸渍碳石墨
· 弹簧：波形弹片提供恒定比压
· 辅助密封：氟橡胶 O 形圈
七、烧结金属粉末过滤器（IXH1220 专用）
爱德华 IXH1220 机型使用烧结金属粉末过滤器（TX150050009）：
烧结工艺特点：
· 粉末粒度 50-100μm
· 烧结温度 1100-1250℃
· 孔隙率 30-40%
· 过滤精度 5-10μm
对比 Y 型油雾过滤器（TX150050005）：
· 精度更高（拦截油雾）
· 适用于半导体高洁净腔体
· 压降更低
八、传动组件：齿轮 / 联轴器 / 胀紧套
物料编码
名称
材质
TX120080002
MB 齿轮
20CrMnTi 渗碳淬火
TX120080001
DP 齿轮
20CrMnTi 渗碳淬火
TX120070006
齿轮侧四齿花型联轴器
40Cr 调质
TX120070005
四齿花型联轴器 OD65-ID28-H57.5
40Cr 调质
TX120070002
星型联轴器弹性体
聚氨酯弹性体
TX120060001
胀紧套
45 钢 + 表面氧化
九、精密五金
物料编码
名称
材质
TX120020001
培林挡圈
45 钢
TX120020024
培林套
45 钢
TX130050007
定位销
45 钢
TX130050011
轴销（定制）
40Cr 调质
TX110600006
导向圈 DP&MB
PTFE + 青铜
TX130030005
马达精密间隙片
不锈钢 304
图：培林挡圈 — 关键精密五金件
图：Bearing Retaining Ring
十、轴类组件
物料编码
名称
材质
TX110016004
MB 轴-X
合金钢 40Cr
TX110016005
MB 轴-Y
合金钢 40Cr
TX110030008
DP 轴-X
合金钢 40Cr
TX110030007
DP 轴-Y
合金钢 40Cr
图：MB 轴-X — 关键传动组件
图：MB Shaft-X
图：DP 轴-X — 关键传动组件
图：DP Shaft-X
十一、腔体与法兰
物料编码
名称
材质
TX110000011
MB 腔体
球墨铸铁
TX110070064
上下泵连接法兰
球墨铸铁
图：上下泵连接法兰 — 关键密封部件
图：Upper-Lower Pump Connecting Flange
十二、材质选型决策建议
工况判断
├─ 干燥清洁空气/氮气 → 标准版（球铁 + 普通转子）
├─ 含 Cl₂/HCl 腐蚀气体 → A200HP 高镍转子（≥16% Ni）
├─ 高洁净半导体 → 烧结过滤器 + Y 型油雾过滤器
├─ 实验室/研发 → 标准转子 + T 型过滤器
└─ 长期高温 → 不锈钢水管 + 烧结过滤器
十三、FAQ
Q1：A200HP 高镍转子含镍量多少？
A：≥16%，符合半导体刻蚀工艺的耐腐蚀要求。
Q2：A200HP 与 IXH1820H 高镍转子区别？
A：含镍量相同，但 A200HP 在 IXH1220 配合面上做了微调。
Q3：IXH1220 标准转子能否升级为 A200HP？
A：可以反向升级（A200HP→标准），成本增加 30-40%。
Q4：烧结金属粉末过滤器能否清洗复用？
A：可以。超声波清洗 + 反吹，3-5 次后建议更换。
Q5：波形弹片寿命多长？
A：交变载荷 10⁷ 次不破坏，对应 3-5 年使用寿命。
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