爱德华 IXH1820 干式真空泵配件材质- 球铁定子、高镍转子、波形弹片与烧结过滤

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 本文聚焦爱德华 IXH1820 / IXH1820H / IXH1210 / IXH1220 / GS1800C 系列干式罗茨真空泵配件的材质工艺,涵盖球铁定子镀镍处理、IXH1820H 高镍转子的耐腐蚀机理(含镍 ≥16%)、波形弹片(碟形弹簧)的弹性特性、烧结金属粉末过滤器的过滤精度、轴封的摩擦副设计等关键技术细节。文中给出不同工况下材质选型建议(标准版 vs A200HP 耐腐蚀版),并对爱德华原厂规格的工艺参数进行解读。

产品介绍

一、为什么材质工艺决定 IXH1820 系列寿命

干式罗茨真空泵的所有易损件都暴露在被抽气体中:

· 腐蚀性气体HClHFCl₂):直接腐蚀铸铁件表面

· 颗粒物:进入腔体后磨损转子端面

· 冷凝蒸汽:在低温段形成液膜,破坏动密封

因此爱德华在 IXH1820 / 1820H 系列配件上采用了逐级防护的材质工艺体系。

二、IXH1820 标准转子:球铁精加工工艺

2.1 X2-X4 / Y2-Y4 / LV 标准转子

物料编码

名称

工艺

TX110040251

X2 转子

球墨铸铁 + 精车 + 动平衡

TX110040252

Y2 转子

球墨铸铁 + 精车 + 动平衡

TX110040162

X3 转子

球墨铸铁 + 精车 + 动平衡

TX110040163

Y3 转子

球墨铸铁 + 精车 + 动平衡

TX110040164

X4 转子

球墨铸铁 + 精车 + 动平衡

TX110040165

Y4 转子

球墨铸铁 + 精车 + 动平衡

TX110040166

LV 转子

球墨铸铁 + 精车 + 动平衡

图:X2 转子(标准版)— IXH1820 基础款

干式真空泵轴封

图:X2 转子

标准工艺三步曲

· 基体:球墨铸铁 QT600-3(抗拉强度 ≥600 MPa

· 精加工CNC 车削,端面跳动 ≤0.01mm

· 动平衡G2.5 @ 12000 RPM

三、IXH1820H 高镍转子:耐腐蚀的旗舰工艺

针对腐蚀性工况,IXH1820H 配套高镍版转子(料号 TX110044569-573):

物料编码

名称

含镍量

适用工况

TX110044569

X3 高镍转子

≥16%

Cl₂ / HCl 的半导体刻蚀

TX110044570

Y3 高镍转子

≥16%

同上

TX110044571

X4 高镍转子

≥16%

同上

TX110044572

Y4 高镍转子

≥16%

同上

TX110044573

LV 高镍转子

≥16%

同上

图:LV 转子(标准版) — IXH1820 通用基础款

干式真空泵轴封

图:LV 转子

高镍转子的核心优势

· 在氧化性介质中形成稳定的钝化膜

· 对应力腐蚀开裂(SCC)免疫

· 动平衡精度 G2.5 级(12000 RPM

四、A200HP 高镍转子(IXH1220 专用)

A200HP 是爱德华特殊版本的高镍转子,料号与 IXH1820H 相同但标注在 IXH1220 上:

物料编码

名称

适用机型

TX110044569

A200HP X3 高镍转子

IXH1220

TX110044570

A200HP Y3 高镍转子

IXH1220

TX110044571

A200HP X4 高镍转子

IXH1220

TX110044572

A200HP Y4 高镍转子

IXH1220

TX110044572

A200HP LV 高镍转子

IXH1220

IXH1820H 高镍转子的区别

· A200HP IXH1220 的腔体配合面上做了微调

· 含镍量相同(≥16%

· 动平衡等级相同(G2.5

五、多级定子:2ND-4TH + LV + 专用定子

物料编码

名称

适配机型

工艺

TX110020029

2ND 定子

IXH1820

球墨铸铁 + 精车

TX110020123

3RD 定子

IXH1820

球墨铸铁 + 精车

TX110020124

4TH 定子

IXH1820

球墨铸铁 + 精车

TX110020130

LV 定子

IXH1820

球墨铸铁 + 精车

TX110020121

DP-HVHP

IXH1820

球墨铸铁 + 高压比设计

TX110020129

DP-LVHP

IXH1820

球墨铸铁 + 低压比设计

TX110020039

MB-LVHP

IXH1820

球墨铸铁 + MB 系列

图:3RD 定子 — IXH1820 3 级定子

干式真空泵轴封

图:3RD Stator

定子设计要点

· 球墨铸铁基体(QT600-3

· 内孔精磨(Ra ≤0.4μm

· 端面跳动 ≤0.02mm

· 与转子的配合间隙 0.10-0.15mm

六、波形弹片与碟形弹簧

物料编码

名称

类型

应用位置

TX120040029

波形弹片

波形弹簧

转子端面

TX120040007

波形弹片(马达端)

波形弹簧

马达端轴承预紧

波形弹片的核心功能

· 提供轴向预紧力,补偿转子热膨胀

· 吸收轴向冲击振动,延长轴承寿命

· 在轴封磨损后保持密封贴合

七、轴封:摩擦副的精密配合

物料编码

名称

摩擦副

TX120010010

轴封

碳化硅 vs 碳石墨

TX120020078

轴套

不锈钢 316L

TX110600006

导向圈 DP&MB

PTFE + 青铜

轴封的关键工艺

· 动环:碳化硅(HV2600),镜面抛光 Ra ≤0.02μm

· 静环:浸渍碳石墨

· 弹簧:波形弹片提供恒定比压

· 辅助密封:氟橡胶 O 形圈

八、烧结金属粉末过滤器(IXH1220 专用)

爱德华 IXH1220 机型使用烧结金属粉末过滤器TX150050009):

烧结工艺特点

· 粉末粒度 50-100μm

· 烧结温度 1100-1250℃

· 孔隙率 30-40%

· 过滤精度 5-10μm

对比 Y 油雾过滤器TX150050005

· 精度更高(0.5-1μm 拦截油雾)

· 适用于半导体高洁净腔体

· 压降更低

九、冷却系统配件:DP200H / GS1800C 系列

9.1 IXH1820H DP200H 水冷排(1-8 号)

物料编码

名称

TX110600279

DP200H 水冷排 1

TX110600280

DP200H 水冷排 2

TX110600281

DP200H 水冷排 3

TX110600282

DP200H 水冷排 4

TX RD110510076

DP200H 水冷排 8

TX RD110510077

DP200H 水冷排 7

9.2 IXH1820 标准冷却排

物料编码

名称

TX110600184

组件,下泵上冷却排 D18

TX110600185

组件,下泵下冷却排 D18

TX110200216

管,下泵上下连接管 D18

TX110200169

组件,上泵冷却排,金属管 A1800

TX110510012

C200H 水冷排 1

TX110510041

M200 冷却排总成 3

9.3 GS1800C 工业级冷却排

物料编码

名称

TX110510026

C200 下泵上冷却排

TX110510027

下泵下冷却排

TX110510030

GS1800 下泵上冷却排

图:下泵上冷却排组件 D18 — IXH1820 冷却核心

干式真空泵轴封

图:下泵上冷却排 D18

十、传动组件:齿轮 / 联轴器 / 胀紧套

物料编码

名称

材质

TX120080002

MB 齿轮

20CrMnTi 渗碳淬火

TX120080001

DP 齿轮

20CrMnTi 渗碳淬火

TX120070006

齿轮侧四齿花型联轴器

40Cr 调质

TX120070005

四齿花型联轴器 OD65-ID28-H57.5

40Cr 调质

TX120070002

星型联轴器弹性体

聚氨酯弹性体

TX120060001

胀紧套

45 + 表面氧化

图:电机联轴器 + 胀紧套 关键传动组件

干式真空泵轴封

图:电机联轴器

干式真空泵轴封

图:胀紧套

十一、材质选型决策建议

工况判断

├─ 干燥清洁空气/氮气 标准版(球铁 + 普通转子)

├─ Cl₂/HCl/腐蚀气体 → IXH1820H 高镍转子(≥16% Ni

├─ IXH1220 腐蚀工况 → A200HP 高镍转子(共用料号)

├─ 高洁净半导体 烧结过滤器 + Y 型油雾过滤器

└─ 长期高温 不锈钢水管 + DP200H 水冷排

十二、FAQ

Q1IXH1820H 高镍转子能完全替代 IXH1820 标准转子吗?

A:可以反向替代(高镍标准),但成本增加 30-40%。建议按工况选型,避免浪费。

Q2A200HP IXH1820H 高镍转子是否同款?

A:含镍量、动平衡等级相同,但 A200HP IXH1220 配合面上做了微调,不能 100% 互换。

Q3IXH1820H 冷却排(DP200H 系列)如何选?

A1-8 号共 8 种,按位置一一对应。建议提供泵体编号让供应商查表匹配。

Q4:波形弹片寿命多长?

A:交变载荷 10⁷ 次不破坏,对应 3-5 年使用寿命。

Q5:烧结过滤器能否清洗复用?

A:可以。超声波清洗 + 反吹,3-5 次后建议更换。



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