爱德华 IXH1820 干式真空泵配件材质- 球铁定子、高镍转子、波形弹片与烧结过滤
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摘要
本文聚焦爱德华 IXH1820 / IXH1820H / IXH1210 / IXH1220 / GS1800C 系列干式罗茨真空泵配件的材质工艺,涵盖球铁定子镀镍处理、IXH1820H 高镍转子的耐腐蚀机理(含镍 ≥16%)、波形弹片(碟形弹簧)的弹性特性、烧结金属粉末过滤器的过滤精度、轴封的摩擦副设计等关键技术细节。文中给出不同工况下材质选型建议(标准版 vs A200HP 耐腐蚀版),并对爱德华原厂规格的工艺参数进行解读。
产品介绍
一、为什么材质工艺决定 IXH1820 系列寿命
干式罗茨真空泵的所有易损件都暴露在被抽气体中:
· 腐蚀性气体(HCl、HF、Cl₂):直接腐蚀铸铁件表面
· 颗粒物:进入腔体后磨损转子端面
· 冷凝蒸汽:在低温段形成液膜,破坏动密封
因此爱德华在 IXH1820 / 1820H 系列配件上采用了逐级防护的材质工艺体系。
二、IXH1820 标准转子:球铁精加工工艺
2.1 X2-X4 / Y2-Y4 / LV 标准转子
物料编码
名称
工艺
TX110040251
X2 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040252
Y2 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040162
X3 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040163
Y3 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040164
X4 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040165
Y4 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
TX110040166
LV 转子
球墨铸铁 + 精车 + 动平衡
图:X2 转子(标准版)— IXH1820 基础款
图:X2 转子
标准工艺三步曲:
· 基体:球墨铸铁 QT600-3(抗拉强度 ≥600 MPa)
· 精加工:CNC 车削,端面跳动 ≤0.01mm
· 动平衡:G2.5 级 @ 12000 RPM
三、IXH1820H 高镍转子:耐腐蚀的旗舰工艺
针对腐蚀性工况,IXH1820H 配套高镍版转子(料号 TX110044569-573):
物料编码
名称
含镍量
适用工况
TX110044569
X3 高镍转子
≥16%
含 Cl₂ / HCl 的半导体刻蚀
TX110044570
Y3 高镍转子
≥16%
同上
TX110044571
X4 高镍转子
≥16%
同上
TX110044572
Y4 高镍转子
≥16%
同上
TX110044573
LV 高镍转子
≥16%
同上
图:LV 转子(标准版) — IXH1820 通用基础款
图:LV 转子
高镍转子的核心优势:
· 在氧化性介质中形成稳定的钝化膜
· 对应力腐蚀开裂(SCC)免疫
· 动平衡精度 G2.5 级(12000 RPM)
四、A200HP 高镍转子(IXH1220 专用)
A200HP 是爱德华特殊版本的高镍转子,料号与 IXH1820H 相同但标注在 IXH1220 上:
物料编码
名称
适用机型
TX110044569
A200HP X3 高镍转子
IXH1220
TX110044570
A200HP Y3 高镍转子
IXH1220
TX110044571
A200HP X4 高镍转子
IXH1220
TX110044572
A200HP Y4 高镍转子
IXH1220
TX110044572
A200HP LV 高镍转子
IXH1220
与 IXH1820H 高镍转子的区别:
· A200HP 在 IXH1220 的腔体配合面上做了微调
· 含镍量相同(≥16%)
· 动平衡等级相同(G2.5)
五、多级定子:2ND-4TH + LV + 专用定子
物料编码
名称
适配机型
工艺
TX110020029
2ND 定子
IXH1820
球墨铸铁 + 精车
TX110020123
3RD 定子
IXH1820
球墨铸铁 + 精车
TX110020124
4TH 定子
IXH1820
球墨铸铁 + 精车
TX110020130
LV 定子
IXH1820
球墨铸铁 + 精车
TX110020121
DP-HVHP
IXH1820
球墨铸铁 + 高压比设计
TX110020129
DP-LVHP
IXH1820
球墨铸铁 + 低压比设计
TX110020039
MB-LVHP
IXH1820
球墨铸铁 + MB 系列
图:3RD 定子 — IXH1820 第 3 级定子
图:3RD Stator
定子设计要点:
· 球墨铸铁基体(QT600-3)
· 内孔精磨(Ra ≤0.4μm)
· 端面跳动 ≤0.02mm
· 与转子的配合间隙 0.10-0.15mm
六、波形弹片与碟形弹簧
物料编码
名称
类型
应用位置
TX120040029
波形弹片
波形弹簧
转子端面
TX120040007
波形弹片(马达端)
波形弹簧
马达端轴承预紧
波形弹片的核心功能:
· 提供轴向预紧力,补偿转子热膨胀
· 吸收轴向冲击振动,延长轴承寿命
· 在轴封磨损后保持密封贴合
七、轴封:摩擦副的精密配合
物料编码
名称
摩擦副
TX120010010
轴封
碳化硅 vs 碳石墨
TX120020078
轴套
不锈钢 316L
TX110600006
导向圈 DP&MB
PTFE + 青铜
轴封的关键工艺:
· 动环:碳化硅(HV2600),镜面抛光 Ra ≤0.02μm
· 静环:浸渍碳石墨
· 弹簧:波形弹片提供恒定比压
· 辅助密封:氟橡胶 O 形圈
八、烧结金属粉末过滤器(IXH1220 专用)
爱德华 IXH1220 机型使用烧结金属粉末过滤器(TX150050009):
烧结工艺特点:
· 粉末粒度 50-100μm
· 烧结温度 1100-1250℃
· 孔隙率 30-40%
· 过滤精度 5-10μm
对比 Y 型油雾过滤器(TX150050005):
· 精度更高(0.5-1μm 拦截油雾)
· 适用于半导体高洁净腔体
· 压降更低
九、冷却系统配件:DP200H / GS1800C 系列
9.1 IXH1820H DP200H 水冷排(1-8 号)
物料编码
名称
TX110600279
DP200H 水冷排 1
TX110600280
DP200H 水冷排 2
TX110600281
DP200H 水冷排 3
TX110600282
DP200H 水冷排 4
TX RD110510076
DP200H 水冷排 8
TX RD110510077
DP200H 水冷排 7
9.2 IXH1820 标准冷却排
物料编码
名称
TX110600184
组件,下泵上冷却排 D18
TX110600185
组件,下泵下冷却排 D18
TX110200216
管,下泵上下连接管 D18
TX110200169
组件,上泵冷却排,金属管 A1800
TX110510012
C200H 水冷排 1
TX110510041
M200 冷却排总成 3
9.3 GS1800C 工业级冷却排
物料编码
名称
TX110510026
C200 下泵上冷却排
TX110510027
下泵下冷却排
TX110510030
GS1800 下泵上冷却排
图:下泵上冷却排组件 D18 — IXH1820 冷却核心
图:下泵上冷却排 D18
十、传动组件:齿轮 / 联轴器 / 胀紧套
物料编码
名称
材质
TX120080002
MB 齿轮
20CrMnTi 渗碳淬火
TX120080001
DP 齿轮
20CrMnTi 渗碳淬火
TX120070006
齿轮侧四齿花型联轴器
40Cr 调质
TX120070005
四齿花型联轴器 OD65-ID28-H57.5
40Cr 调质
TX120070002
星型联轴器弹性体
聚氨酯弹性体
TX120060001
胀紧套
45 钢 + 表面氧化
图:电机联轴器 + 胀紧套 — 关键传动组件
图:电机联轴器
图:胀紧套
十一、材质选型决策建议
工况判断
├─ 干燥清洁空气/氮气 → 标准版(球铁 + 普通转子)
├─ 含 Cl₂/HCl/腐蚀气体 → IXH1820H 高镍转子(≥16% Ni)
├─ IXH1220 腐蚀工况 → A200HP 高镍转子(共用料号)
├─ 高洁净半导体 → 烧结过滤器 + Y 型油雾过滤器
└─ 长期高温 → 不锈钢水管 + DP200H 水冷排
十二、FAQ
Q1:IXH1820H 高镍转子能完全替代 IXH1820 标准转子吗?
A:可以反向替代(高镍→标准),但成本增加 30-40%。建议按工况选型,避免浪费。
Q2:A200HP 与 IXH1820H 高镍转子是否同款?
A:含镍量、动平衡等级相同,但 A200HP 在 IXH1220 配合面上做了微调,不能 100% 互换。
Q3:IXH1820H 冷却排(DP200H 系列)如何选?
A:1-8 号共 8 种,按位置一一对应。建议提供泵体编号让供应商查表匹配。
Q4:波形弹片寿命多长?
A:交变载荷 10⁷ 次不破坏,对应 3-5 年使用寿命。
Q5:烧结过滤器能否清洗复用?
A:可以。超声波清洗 + 反吹,3-5 次后建议更换。
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