普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的加热保温罩
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摘要
太星供应普发 HiPace 系列涡轮分子泵加热保温罩，屏蔽式加热套筒，适配多款 HiPace 分子泵，M12 插头直连驱动控制器。用于泵体升温除气，抑制水汽油气凝结，快速获得超高真空。安装贴合便捷，适配科研、镀膜真空工况，为普发涡轮分子泵重要选配配件，提升真空系统极限真空表现，降低泵腔污染，减少设备维护频次。
产品介绍
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的加热保温罩，是该型号分子泵的配套温控附件，用于维持泵体温度稳定，避免高真空环境中气体冷凝，保障抽气性能可靠，适配半导体、科研等高精度真空制程场景。
普发真空涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线，展示 He、H₂、N₂、Ar 四种气体在不同压强下的抽速变化：高真空段（<10⁻³hPa）抽速稳定，轻气体（如 H₂）随压强上升衰减更快，是真空系统选型、匹配气体工况的核心性能参考图。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）高真空腔体的安装尺寸图，标注了 DN200 ISO-F（主高真空接口）、DN40 ISO-KF（辅助接口）等规格，以及吊装、安装孔位的定位尺寸，是半导体、科研等真空系统集成时的关键技术图纸。
本款分子泵适配离子注入系统，针对轻气体优化抽气速率。镀镍转子耐掺杂剂侵蚀，使用寿命更加；搭载智能温度管理系统，有效抑制工艺气体冷凝与沉积物堆积。拥有准 S2、UL/CSA 安全认证，运行安全可靠，适配半导体严苛工艺环境，降低故障停机概率，是离子注入设备高性能真空核心部件。
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