普发真空(Pfeiffer Vacuum)的 TSU 系列涡轮分子泵机组

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摘要

普发真空 TSU 系列涡轮分子泵机组为一体化成套高真空设备,集成涡轮分子泵、前级泵与驱动控制器,实现即插即用。一键启停操作简便,整机振动低、运行平稳,可获得优异的超高极限真空。减少现场装配调试工作,可靠性高,广泛用于科研实验、表面分析、真空镀膜等场景,是实验室真空系统成套机组。

产品介绍

普发真空Pfeiffer Vacuum)的 TSU 系列涡轮分子泵机组(具体为 TSU 61 BP 200 A 型号)。

它属于普发真空的高真空设备系列,是用于产生超高真空环境的工业级设备,常用于半导体制造、真空分析、科研实验等对真空度要求极高的领域,具备抽气、稳定运行的特点,其结构设计便于集成到各类真空系统中。

集成式涡轮分子泵组

普发真空(Pfeiffer Vacuum)BD 系列隔膜泵的抽速特性曲线。

图中展示了 BD D100 A、BD D300 A、BD D600 A 三款型号的隔膜泵,在不同入口压强(p,单位hPa (mbar))下的抽速(V˙,单位m 3 /h)变化关系,属于体现其真空性能的技术曲线类资料,帮助用户理解不同型号隔膜泵在各类压强区间的抽气能力。


集成式涡轮分子泵组


普发真空(Pfeiffer Vacuum)BD 系列隔膜泵的抽速特性曲线。

图中展示了 BD 0100 A、BD 0300 A、BD 0600 A 三款型号的隔膜泵,在不同入口压强(单位:Torr)下的抽速(单位:ACFM)变化关系,属于体现其真空性能的技术曲线类资料,帮助用户理解不同型号隔膜泵在各类压强区间的抽气能力。


集成式涡轮分子泵组


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