普发真空 ACP 15 干式多级罗茨泵
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摘要
普发真空 ACP15 干式多级罗茨泵，全干式无油结构，实现洁净真空环境，不存在碳氢污染。转子非接触运转，稳定持续抽气，配备气镇功能，耐受水汽与工艺废气。设备运行平稳，维护周期长，适配半导体腔体、等离子工艺、真空镀膜等工况，常作为分子泵前级干泵，有多种版本可选，满足不同工艺腐蚀工况需求。
产品介绍
普发真空 ACP 15 干式多级罗茨泵，采用无摩擦无油设计，无颗粒 / 烃类污染，14m³/h 抽速 +≤0.03mbar 极限真空，20000 小时免大修。自带气镇阀可抽 1000g/h 水汽，宽电压适配 + 空气冷却免水冷，集成数显计时与远程操控，23kg 紧凑机身，适配实验室、质谱 / 电镜等洁净真空场景。
普发真空 ACP 15 干式多级罗茨泵，型号 V5SATSMGZF，搭配 SEK15 隔音罩（零件号 122480），有效降低运行噪音。全干式无油构造，提供洁净真空环境，适配各类精密真空工艺。电力电缆需单独选配，下单请备注对应规格。运行稳定耐用，可作为分子泵前级泵，广泛应用半导体、等离子清洗、真空镀膜等工业场景。
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