普发真空同轴馈通座专为高真空系统的信号 / 功率传输设计
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主轴维修
摘要
普发真空同轴馈通座，面向高真空系统实现腔体内外信号与功率稳定传输。采用优质陶瓷绝缘，气密性优异，漏率低，支持高温烘烤。适配 CF、ISO-KF 多种法兰，信号传输抗干扰，阻抗匹配稳定。安装便捷，广泛用于镀膜、半导体、科研真空设备，作为真空腔体可靠电气穿墙组件。
产品介绍
普发真空同轴馈通座专为高真空系统的信号 / 功率传输设计，采用真空兼容 316L 不锈钢材质，表面电解抛光保障低放气率与高洁净度。大口径 CF 法兰接口搭配小口径带安装孔法兰，同轴结构确保传输稳定性，可适配各类真空传感器、馈通组件。广泛应用于半导体制造、粒子物理实验等场景，德国精密工艺保障，是真空系统中信号传输的核心组件。
该图纸对应的普发真空同轴馈通座，专为高真空系统的信号 / 功率传输设计，采用真空兼容 316L 不锈钢材质，表面电解抛光保障低放气率与高洁净度。大口径 CF 法兰转小口径带安装孔法兰的同轴结构，确保传输稳定性，适配各类真空传感器、馈通组件。广泛应用于半导体制造、粒子物理实验等场景，德国精密工艺保障，是真空系统信号传输的核心组件。
真空爆破膜安全泄压装置，符合 EN ISO 4126-2 与 AD2000 规范，内部无活动零部件，运行无卡滞风险。爆破压力最高 500hPa，不受压力指令 2014/68/EU 约束。超压时快速泄压保护真空系统，装置爆破后直接整体更换，运维操作简单，适配各类真空设备，提供稳定可靠的超压安全防护。
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