普发真空大行程垂直升降波纹管组件

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摘要

厦门太星供应普发真空大行程垂直升降波纹管组件,316L 多层精密焊接成型,大轴向升降位移,全金属无摩擦洁净无颗粒污染。经氦检漏低漏率,低放气适配超高真空,可补偿安装偏差与振动,循环寿命长,适配镀膜、科研真空腔体升降机构。

产品介绍

普发真空大行程垂直升降波纹管组件(真空腔体升降机构)。它以不锈钢为主体,集成大口径波纹柔性段、刚性导轨与顶部精密驱动馈通,适配高 / 超高真空环境,可实现真空腔体或负载的大行程垂直升降与位移补偿,密封可靠、运行稳定,是半导体、科研真空系统中实现腔体垂直定位与隔离的关键设备。


大行程真空波纹管


普发真空大行程垂直升降波纹管组件的工程尺寸图。它包含正视图与俯视图,标注 A、B、C、D、E、F 等关键外形与安装尺寸,用于指导该真空升降机构的安装布局、空间适配与系统集成,适配半导体、科研等高真空场景的腔体垂直定位需求,是真空系统设计的核心技术图纸。




大行程真空波纹管

大行程真空波纹管


再循环滚珠轴承导轨和再循环滚珠丝杠驱动

零背隙,无滑粘效应

导轨和驱动均为无磨损、免维护

稳定的设计理念很大限度地减少了由于压力变化引起的位置偏移

固定制动器防止独立运动

带通孔的连接法兰,带螺纹孔的可移动法兰

可调整的零设定点


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