质谱仪腔室组件（氦检漏仪腔体）

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关键词：质谱仪腔室组件

摘要

本款氦检漏仪质谱腔室组件采用 304 不锈钢一体精加工，内壁镜面抛光，一体焊接漏点，适配 INFICON、莱宝多款主流检漏机型。标配标准 KF 真空快装接口与精准定位安装螺柱，密封性优异，适配高真空氦检工况。专为半导体、锂电、镀膜设备维保替换，尺寸标准拆装便捷，抗腐蚀耐温差，长期使用真空性能稳定，是高精度氦质谱检漏设备优质原厂替代备件。

产品介绍

质谱仪腔室组件（氦检漏仪腔体）

本品为 INFICON、莱宝氦质谱检漏仪专用不锈钢腔体，镜面抛光无死角，适配检漏仪质谱核心安装位，带 KF 标准真空快装接口与定位安装螺栓。一体焊接成型，密封性强，耐受高真空工况，用于氦检设备维修替换，适配 LDS3000、LDS800、VARIO 等机型，耐用度达三千小时以上，满足镀膜、半导体行业精密检漏设备维保需求。

质谱仪腔室组件

英福康LDS系列莱宝系列质谱室结构件质谱室维修替换

Leybold INFICON LDS系列质谱维修更换

适用机型英福康LDS3000、LDS800.莱宝VARIO、QUADRO等维修更换使用

质谱仪腔室组件

双孔真空阀体腔体

该件为检漏仪配套双工位真空腔体，整体尺寸 148×75mm，左侧通径 Φ42，双法兰孔位预留标准安装螺孔，上方设辅助真空接口。不锈钢一体精加工，内壁镜面抛光，焊缝无泄漏，适配氦质谱检漏设备双路检测工况，可同步对接待测工件与真空泵，广泛用于半导体、锂电池行业真空检漏设备替换备件，密封稳定、耐高低温真空环境。

质谱仪腔室组件