普发真空 XY 轴精密旋转定位平台，专为高 / 超高真空环境设计

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关键词： XY 轴精密旋转定位平台

摘要

厦门太星供应普发真空 XY 轴精密旋转定位平台，适配高、超高真空工况，低释气不锈钢材质，密封漏率优异。采用交叉滚子导轨，零背隙、微米级定位精度，XY 平移搭配 360° 连续旋转，运动平稳低震。可烘烤、适配 CF 法兰，兼容半导体镀膜、电镜与科研腔体，运行稳定耐用，配套控制器、备件及真空技术售后。

普发真空 XY 轴精密旋转定位平台，专为高 / 超高真空环境设计，集成双旋钮微调机构，可实现 XY 平面微米级平移与台面旋转，刻度清晰、定位稳定。采用高密封性结构设计，适配半导体制程、真空物理实验等场景，是科研机构与半导体企业实现样品精密定位的核心设备，助力提升实验与制程的度与可靠性。

XY 轴精密旋转定位平台

普发真空 XY 轴精密旋转定位平台的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图，标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸，用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成，适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求，是真空系统设计的核心技术图纸。

XY 轴精密旋转定位平台

本款定位平台搭载精密十字接头滚柱导轨，实现零背隙运行，消除滑粘卡顿现象。导轨与驱动部件无磨损、免日常维护，稳固结构大幅削弱真空压力波动造成的位置偏移。XY 行程可满幅同步使用，配备通孔连接法兰与带螺纹活动法兰，限位开关全程可调，适配各类真空腔体对位作业，定位、适配性强。

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XY 轴精密旋转定位平台

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