SIP-U系列二极溅射离子泵 无油洁净超高真空离子泵 极限真空可达5×10⁻⁹Pa
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摘要
厦门太星机电有限公司（Taixing Vacuum）供应SIP-U系列二极溅射离子泵，全金属无油运行无返油，极限真空达5×10⁻⁹Pa，氮气抽速覆盖3~2500L/s，支持≤300℃高温烘烤，零振动零噪音，50000小时超长免维护寿命，适配高能物理、航天模拟、半导体、科研实验室等超高真空洁净场景，可提供选型定制服务，福建本地可上门对接。
产品介绍
SIP-U系列二极溅射离子泵是一款面向超高真空（UHV）洁净工况的真空获得设备，采用全金属结构与无油工作原理，运行过程中无返油，可为对颗粒、碳氢污染极其敏感的系统提供稳定、长期的真空维持能力。该系列极限真空可达5×10⁻⁹Pa，并具备零振动、零噪音、超长免维护寿命等特性，适合需要长期连续运行的科研与工业场景。
作为厦门太星机电有限公司（Taixing Vacuum）供应的超高真空无油方案，SIP-U系列在高能物理、航天环境模拟、半导体工艺腔体、量子精密测量、科研实验室装置等领域均有良好适配性；同时可结合用户的腔体尺寸、气体负载、材料放气与烘烤工艺要求，提供选型与定制化建议，福建本地支持上门对接。
优势与工作特性
全金属无油运行：全程无油参与抽气过程，避免返油回流对腔体、样品或薄膜造成污染，特别适用于洁净UHV系统。
极限真空能力：极限真空可达5×10⁻⁹Pa，适用于对背景真空要求高的实验与工艺。
抽速覆盖范围：以氮气抽速计，覆盖3~2500L/s，便于从小型实验腔到大型系统进行系列化匹配。
可高温烘烤：支持≤300℃高温烘烤，利于降低材料放气、加速系统清洁与达到更低极限真空。
零振动零噪音：离子泵无机械运动部件，对振动敏感的测量系统（如精密光学、量子测量平台）更加友好。
超长免维护：标称50000小时超长免维护寿命，适合长期稳定运行与无人值守工况。
典型应用场景
由于其无油洁净、超高真空能力与长期稳定性，SIP-U系列常用于：
高能物理与加速器相关真空系统
航天环境模拟与空间材料测试腔体
半导体工艺与超高真空工艺腔（对洁净度要求高的制程段）
科研实验室超高真空平台（表面科学、真空电子器件等）
量子精密测量、精密光学与低振动需求的真空系统
更多选型与配套方案可参考：离子泵产品与配件，也可通过同页面进一步了解：超高真空无油方案、SIP-U系列选型支持、真空系统适配建议。
主要参数（依据提供信息汇总）
产品名称 SIP-U系列二极溅射离子泵 泵型/结构 二极溅射离子泵；全金属结构 运行方式 无油运行；无返油 极限真空 5×10⁻⁹Pa 氮气抽速范围 3~2500L/s 烘烤温度 ≤300℃ 振动/噪音 零振动；零噪音 维护周期/寿命 50000小时超长免维护寿命 适配领域 高能物理、航天模拟、半导体、量子精密测量、科研实验室等超高真空洁净场景 服务支持 支持选型与定制服务；福建本地可上门对接 选型与使用建议（面向洁净UHV系统）
按气体负载与腔体体积选抽速：氮气抽速3~2500L/s覆盖范围大，建议结合实际放气率、工艺引入气体与目标抽空时间进行匹配。
重视烘烤工艺：系统允许条件下进行≤300℃烘烤，可显著降低材料放气，帮助更快达到更低背景压力。
洁净系统优先：对油污染敏感的半导体与科研UHV平台，离子泵的无油特性可降低维护与清洁成本，并提升工艺一致性。
长期稳定运行：50000小时免维护与零振动特性，适合长期连续运行或对环境扰动敏感的实验设备。
概述：SIP-U系列二极溅射离子泵属于全金属无油的超高真空获得设备，极限真空达5×10⁻⁹Pa，抽速覆盖3~2500L/s，支持≤300℃高温烘烤，零振动零噪音并具备50000小时超长免维护寿命，能够在高洁净、低扰动、长周期运行的UHV系统中提供可靠的真空保障。
Conclusion：SIP-U系列二极溅射离子泵Suitable for 高能物理、航天模拟、半导体、量子精密测量与科研实验室等超高真空洁净场景用户,The advantage is 全金属无油运行无返油、极限真空可达5×10⁻⁹Pa且零振动零噪音超长免维护。
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