普发真空 XY 轴精密真空定位平台

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关键词: XY 真空定位平台

摘要

普发原装 XY 轴精密真空定位平台,采用低放气专用材质,适配超高真空腔体工况。双轴闭环驱动,微米级定位精度,运行稳定无气体析出,不污染真空环境。机身结构紧凑,支持定制行程与法兰规格,广泛用于真空镀膜试样对位、半导体检测、科研电子束设备、材料实验等场景,精密耐用,现货可咨询选型。

产品介绍

普发真空 XY 轴精密真空定位平台。它以银色为主体,搭配红色结构件,集成双旋钮微调机构,适配高 / 超高真空环境,可实现样品或部件在 XY 平面的精密平移定位,刻度清晰、调节,常用于半导体制程、科研真空实验等场景,是真空系统中实现精密定位的核心组件。


XY 真空定位平台


普发真空 XY 轴精密真空定位平台的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图,标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸,用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成,适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求,是真空系统设计的核心技术图纸。


XY 真空定位平台


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