普发真空 XY 轴精密真空定位平台（带旋转功能）

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关键词： XY 轴真空定位平台

摘要

普发真空 XY 轴带旋转精密真空定位平台，适配高真空工况使用。集成平移与旋转调节结构，定位精度优异，运行稳定低抖动。腔体适配性强，低放气，支持多角度样品对位调校。机身刚性扎实，可耐受烘烤工况，安装适配灵活，广泛用于半导体检测、光学镀膜、真空实验等精密作业场景。

普发真空 XY 轴精密真空定位平台（带旋转功能）。它以灰色为主体，搭配红色结构件，集成双旋钮微调机构，适配高 / 超高真空环境，可实现 XY 平面的精密平移与台面旋转，刻度清晰、定位，常用于半导体、科研真空系统中的样品或部件定位，是真空实验与制程的核心精密组件。

XY 轴真空定位平台

普发真空 XY 轴精密真空定位平台（带旋转功能）的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图，标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸，用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成，适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求，是真空系统设计的核心技术图纸。

XY 轴真空定位平台

精密十字接头滚柱导轨，零背隙运行，滑粘现象。导轨与驱动结构无磨损损耗，日常无需维护保养。结构设计稳固，有效规避气压波动带来的位置偏移。配备大转轴千分尺螺丝，双向刻度清晰，调校读数便捷。XY 行程可满幅同步运用，搭配通孔连接法兰与螺纹活动法兰，装配适配性强，定位操控耐用。

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XY 轴真空定位平台

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