普发真空(Pfeiffer Vacuum)的HV 摆动阀(高真空摆阀)

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关键词: 高真空摆阀

摘要

普发真空 HV 摆动阀,专为高洁净真空场景打造。采用钟摆式阀板结构,低粒子污染,密封可靠,可实现快速隔离与精密节流控制。适配半导体、镀膜等严苛工艺,响应迅速,结构紧凑易维护,是高真空系统稳定运行的关键部件。

产品介绍

普发真空(Pfeiffer Vacuum)的HV 摆动阀(高真空摆阀),专为半导体、镀膜等高洁净真空场景设计。它采用低粒子、高密封结构,响应快、控制,适配严苛工艺隔离与压力调节,耐用且维护便捷,是高真空系统中可靠的关键控制部件。


高真空摆阀


普发真空 HV 节流摆动阀(DN 250 ISO-F 规格,配 QPDB 控制器,24V DC 供电)。采用自适应算法,响应快、稳定性高,低粒子生成,可任意方向安装。可选加热套,最高 120℃,结构紧凑成本低,高可靠且符合 CE、REACH、RoHS 标准。


高真空摆阀

高真空摆阀


普发真空(Pfeiffer Vacuum)**HV 钟摆阀(高真空摆动阀,DN 320 ISO-F 规格)** 的尺寸图,专为半导体、镀膜等高洁净真空场景设计。它采用钟摆式阀板结构,可实现快速隔离与精密节流控制,响应快、低粒子污染,适配严苛工艺,结构紧凑且维护便捷,是高真空系统中可靠的关键控制部件。


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