普发真空 XY 轴精密定位平台(带升降补偿)
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摘要
普发真空 XY 轴精密定位平台,专为真空环境下的高精度操作设计。平台集成 XY 轴精密移动与升降补偿功能,可在真空腔体内实现微米级定位,并自动补偿样品高度偏差。采用高稳定性驱动与导向系统,确保的定位精度和重复性。广泛应用于半导体晶圆处理、材料科学研究、精密测量等真空应用,是实现复杂真空内工艺的关键设备。
产品介绍
普发真空 XY 轴精密定位平台(带升降补偿),专为高 / 超高真空环境设计,集成双旋钮手动微调机构,可实现 XY 平面微米级平移,底部波纹管结构提供垂直方向位移补偿。高刚性结构保障运行稳定,适配半导体制程、真空物理实验等场景,是科研与工业领域实现样品精密操控的核心设备。

普发真空 XY 轴精密定位平台(带升降补偿)的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图,标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸,用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成,适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求,是真空系统设计的核心技术图纸。


精密十字接头滚柱导轨,专为高精度定位设计。采用零背隙、无滑粘效应的滚柱导向,确保运动平滑。导轨和驱动均为无磨损、免维护设计,寿命长。其稳定的结构能有效减少压力变化引起的位置偏移。配备大转轴千分尺螺丝和双向刻度,操作便捷。x 和 y 行程可同时完全使用,灵活的法兰设计便于集成,是精密仪器和科研设备的理想选择。
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