410 型皮拉尼冷阴极复合真空规（Pirani Penning Vacuum Gauge）
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摘要
410 型皮拉尼冷阴极复合真空规，集成皮拉尼与冷阴极双原理，覆盖宽量程真空测量。不锈钢机身配 RJ45 网口，供电通讯合一，结构紧凑易安装。无灯丝冷阴极设计，抗污染、长寿命，适配从粗真空到高真空的压力监测，是精密真空设备的理想之选。
产品介绍
410 型皮拉尼冷阴极复合真空规（Pirani Penning Vacuum Gauge），集成皮拉尼与冷阴极两种测量原理，实现宽量程真空测量。采用不锈钢机身，RJ45 网口集成供电与通讯，适配高真空系统，可覆盖从粗真空到高真空的压力监测，是精密真空设备的核心测量部件。
皮拉尼薄膜复合真空规，集成皮拉尼热传导与薄膜电容测量原理，实现从粗真空到中高真空的宽量程监测。采用全不锈钢机身与标准真空法兰，搭配 D-Sub 接口供电通讯，抗污染、稳定性强，广泛用于真空镀膜、半导体工艺、真空炉等精密设备。
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