普发真空（Pfeiffer Vacuum）的冷阴极真空规（常见型号如 IKR 261）

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关键词：冷阴极真空规

摘要

普发真空 IKR261 冷阴极真空规，德国原装，倒置磁控管原理，测量范围 2×10⁻⁹~1×10⁻²hPa。全金属密封，DN40 ISO-KF/CF-F 法兰适配超高真空。无灯丝、低放气、耐烘烤，55℃内稳定，精度高、重复性好。适配半导体、科研及工业真空系统，免维护、寿命长，高真空测量。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）的冷阴极真空规（常见型号如 IKR 261），是一款适配 DN 40 CF-F 接口的金属密封型真空测量传感器，用于超高真空环境的压力监测，量程覆盖 2×10⁻⁹至 1×10⁻² hPa，支持高温烘烤（可达 250℃），常应用于半导体、科研等超高真空系统场景。