北方华创 eMeridian RR-M 系列磁控溅射卷绕镀膜设备
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摘要
北方华创 CWP 系列卧式连续型 PVD 镀膜设备,采用模块化真空腔室设计,支持磁控溅射等多种工艺。工件载板连续通过,实现量产,产能高、稼动率强。膜层均匀致密、附着力优异,适配各类平板工件功能层制备,广泛应用于光学、新能源、电子行业,为大规模量产提供稳定可靠的镀膜解决方案。
产品介绍
北方华创 eMeridian RR-M 系列磁控溅射卷绕镀膜设备,专为复合集流体等柔性基材设计。适配 PET、PI 等基材,宽幅 600-2000mm,卷绕速度可达 30m/min,镀膜均匀致密。高精度张力控制与稳定真空系统保障工艺一致性,低耗,是锂电、电子行业柔性材料量产的可靠核心装备。

卷绕式镀膜设备专为柔性材料打造,支持磁控溅射、电子束、送丝蒸镀、ALD、PECVD 等多种镀膜工艺,适配复合集流体、高阻隔膜、柔性 PCB 等领域。可实现柔性基材连续卷绕式镀膜,张力控制稳定、膜层均匀致密,工艺兼容性强,是柔性电子与新能源材料量产的可靠装备。

北方华创 CWP 系列卧式连续型 PVD 镀膜设备,采用模块化真空腔室设计,支持磁控溅射等工艺,工件载板连续通过完成镀膜。设备产能高、稼动率强,膜层均匀致密、附着力佳,广泛应用于平板工件表面功能层制备,适配光学、新能源、电子等行业大规模量产需求。

● 专为平面型产品设计的卧式连续镀膜设备
● 镀膜技术:磁控溅射、蒸发、ALD、PECVD等
● 应用领域:光伏、磁性材料、钙钛矿、显示行业等

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