普发真空方形法兰盲板专为高真空

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关键词: 方形法兰盲板

摘要

普发真空方形法兰盲板,专为高真空工况设计,采用 304L 不锈钢打造,低放气、耐腐蚀。精密刀口密封配无氧铜垫片,漏率可达 10⁻¹²Pa・L/s 级,耐受 - 196℃至 300℃烘烤。方形结构稳固易安装,适配 CF/ISO 标准接口,用于真空腔室端口封堵,广泛应用于半导体、科研及工业高真空系统。

产品介绍

普发真空方形法兰盲板专为高真空、超高真空腔室设计,采用真空兼容合金材质,经精密加工保障高平面度与密封性,适配标准方形法兰接口,安装便捷。可用于真空腔室端口密封、临时封堵或作为功能基板,广泛应用于半导体制造、科研真空设备等场景,德国品质保障,为真空系统提供可靠密封方案。

方形法兰盲板



该图纸对应的普发真空方形法兰盲板,专为高真空、超高真空腔室设计,采用真空兼容合金材质,经精密加工保障高平面度与密封性,适配标准方形法兰接口,安装便捷。可用于真空腔室端口密封、临时封堵或作为功能基板,广泛应用于半导体制造、科研真空设备等场景,德国品质保障,为真空系统提供可靠密封方案。


方形法兰盲板


方形法兰盲板


方形法兰盲板



采用模块化设计,整体布局灵活可适配多种真空工况,拓展性强。标配方形底板,预留 ISO-K 定心环专用定心槽与精密密封面,搭配适配 ISO-K 夹钳的带螺纹孔螺栓圈。板身预留标准安装固定孔,接地结构设计完善,安装便捷稳固、密封性能优异,适配各类高真空管路搭建,适配工业及科研真空系统使用。


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