真空 Z 轴直线驱动器（真空线性驱动装置）

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关键词：真空线性驱动装置

摘要

真空 Z 轴直线驱动器，采用 316L 不锈钢波纹管密封，适配超高真空环境，漏率低至 1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/s，工作温度 - 30~+300℃，支持万次稳定循环。可按需加装 X/Y 轴微调，兼容 CF 法兰标准，安装灵活，是科研、半导体真空腔室精密位移的可靠之选。

产品介绍

真空 Z 轴直线驱动器（真空线性驱动装置），适配超高真空环境，采用 316L 不锈钢波纹管密封，实现无泄漏直线运动。结构紧凑，可搭配 X/Y 轴微调，满足半导体、科研设备的精密位移需求，运动平稳、重复精度高，是真空腔室内样品操作的核心部件。

真空线性驱动装置

手动真空 Z 轴直线驱动器，适配超高真空场景，采用 316L 不锈钢波纹管密封，漏率低至≤1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/s，工作温度 - 30~+300℃，可万次循环使用。支持 CF 法兰连接，可按需加装 X/Y 轴微调，是科研、半导体真空腔室内精密位移的可靠设备。

真空线性驱动装置

真空直线驱动器（真空 Z 轴位移台 / 真空线性馈通装置），专为超高真空环境设计，采用 316L 不锈钢波纹管密封，实现无泄漏直线运动。它可提供不同行程规格，支持手动 / 电动驱动，兼容 CF 标准法兰，漏率，耐高低温，是科研实验、半导体设备中真空腔室内样品精密位移的核心部件。

真空线性驱动装置

真空腔体 / 真空系统，可按需一对一设计出图（方案阶段免费），适配 - 190℃~+1200℃宽温域，支持 304/316 不锈钢等材质，真空焊接工艺，漏率低至 1.3×10⁻⁸Pa・L/S，水压 8 公斤 24 小时无泄漏。可配套真空机组，满足科研、探针台等场景，内外表面可按需处理，耐高温耐腐蚀，高精度高质量。

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