德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）ASI 35 模块化氦质谱检漏仪
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摘要
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）ASI 35 模块化氦质谱检漏仪，分体式设计灵活适配各类工况，搭载高灵敏度质谱模块，检测真空系统漏点。具备多档位灵敏度切换、快速响应、低维护等优势，漏率检测精度达 10⁻¹² mbar・L/s 级，适配半导体、航空航天、真空设备等场景，为真空系统提供稳定可靠的检漏解决方案。
产品介绍
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）ASI 35 模块化氦质谱检漏仪，采用分体式设计，集成高灵敏度质谱模块与控制单元，支持多档位灵敏度切换。具备超高检漏精度、快速响应、模块化扩展等优势，适配半导体、真空设备、航空航天等场景，用于检测真空系统漏点，是真空检漏的核心设备。
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）ASI 35 模块化氦质谱检漏仪的结构尺寸示意图，标注了电子模块与真空模块的外形、安装尺寸。用于明确产品外形参数、安装空间与接口规格，为真空系统布局、设备选型安装提供依据，适配半导体、航空航天等真空检漏场景。
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