普发真空（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 系列干式螺杆真空泵

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摘要

普发真空 COBRA DS 系列干式螺杆真空泵，采用无油干式螺杆核心技术，抽速强劲、极限真空度高，耐腐蚀性与抗粉尘能力优异，适配半导体、光伏、镀膜、化工等严苛工艺场景。设备集成智能控制系统，运行稳定低噪、维护便捷，全程无油污染，保障工艺洁净度，为真空制程提供、可靠、长寿命的核心动力，是工业真空系统的方案。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 系列干式螺杆真空泵，型号为 COBRA DS 2140 A。它采用无油干式螺杆技术，专为半导体、光伏、镀膜等严苛工艺设计，具备高抽速、强耐腐蚀性与低维护特性，集成智能控制系统，可提供稳定洁净的真空环境，适配高负荷工业生产场景，是真空制程的核心设备。

普发真空干式螺杆泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum） COBRA DS 2141 A 型号螺杆真空泵的抽速 - 压力性能曲线图。横坐标为压力（p，单位是 hPa 或 mbar ），纵坐标为抽速（V^，单位是 m³/h ），该曲线展示了 DS 2141 A 型号真空泵在不同压力条件下的抽气速率表现。

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