普发真空 XY 轴精密真空定位平台(带升降补偿)
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摘要
普发真空 XY 轴精密真空定位平台,自带升降补偿功能,专为真空环境高精度定位设计。零背隙、无滑粘,导轨与驱动免维护、无磨损;稳定结构大幅降低压力变化导致的位置偏移。搭配大转轴千分尺与双向刻度,X/Y 行程可同时满行程使用,带通孔连接法兰与螺纹孔移动法兰,适配真空实验、精密探测等严苛场景。
产品介绍
普发真空 XY 轴精密真空定位平台(带升降补偿)。它以银灰色为主体,搭配红色结构件,集成双旋钮微调机构与底部波纹管补偿段,适配高 / 超高真空环境,可实现 XY 平面精密平移与垂直方向位移补偿,刻度清晰、定位,是半导体、科研真空系统中样品定位的核心精密组件。

普发真空 XY 轴精密真空定位平台(带升降补偿)的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图,标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸,用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成,适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求,是真空系统设计的核心技术图纸。


精密十字接头滚柱导轨,采用零背隙设计,无滑粘效应,导轨与驱动部件无磨损、免维护。结构稳定,可大幅降低压力变化带来的位置偏移,搭配大尺寸转轴千分尺螺丝,操作便捷、读数清晰。配备双向刻度,X、Y 向最大行程可同时充分利用,带通孔连接法兰与螺纹孔可移动法兰,适配精密定位与高精度运动场景。
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