普发真空 XY 轴精密旋转定位平台
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CF 系列高真空固定法兰
摘要
普发真空 XY 轴精密旋转定位平台，专为高真空 / 超高真空环境设计，德国工艺，三轴联动稳定。采用低出气率材质与无摩擦传动，适配 10⁻⁹hPa 真空工况，定位精度达亚微米级，重复定位一致性强。结构紧凑、刚性好、运行平稳无抖动，兼容半导体、电子显微镜、光学检测、薄膜与科研腔体，安装便捷、长期耐用，是真空精密对位的可靠方案。
产品介绍
普发真空 XY 轴精密旋转定位平台，专为高 / 超高真空环境设计，集成双旋钮微调机构，可实现 XY 平面微米级平移与台面旋转，刻度清晰、定位稳定。采用高密封性结构设计，适配半导体制程、真空物理实验等场景，是科研机构与半导体企业实现样品精密定位的核心设备，助力提升实验与制程的度与可靠性。
普发真空 XY 轴精密旋转定位平台的工程尺寸图。它包含正视图与侧视图，标注 A、B、C、D 等关键外形与安装尺寸，用于指导该真空定位平台的安装布局、空间适配与系统集成，适配半导体、科研等高真空场景的样品精密定位需求，是真空系统设计的核心技术图纸。
精密十字接头滚柱导轨，采用零背隙设计，消除滑粘效应，运行顺滑平稳。导轨与驱动结构无磨损、免维护，长期使用精度稳定。优异结构有效降低压力变化带来的位置偏移，保障定位可靠。X、Y 轴行程可全程充分利用，搭配带通孔固定法兰与螺纹孔移动法兰，安装适配性强。限位开关灵活可调，满足高精度位移、自动化设备与真空工况需求，是精密传动的理想选择。
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