普旭 COBRA DS 0700 G 干式螺杆真空泵

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关键词：普旭 COBRA DS 0700 G 干式螺杆真空泵

摘要

普旭 COBRA DS 0700 G 干式螺杆真空泵，专为半导体、真空镀膜等工艺打造。采用洁净无油的螺杆结构，彻油污染，适配 CVD、RTP 等严苛制程。一体铸造螺杆防腐蚀、防颗粒侵入，集成增压器实现抽速快、极限压力低至 0.003 mbar，大幅提升生产效率。维护间隔长、运行成本低，紧凑设计易集成，是高洁净度、高可靠性真空解决方案的理想之选。

产品介绍

普旭（Busch）COBRA DS 0700 G 干式螺杆真空泵（图片上的 PFEIFFER 标识为品牌归属或印刷标注，该系列实际为普旭产品）。

它专为半导体、真空镀膜等工艺设计，核心优势在于：

洁净无油：干式螺杆结构，油污染，适配 CVD、RTP、ALD 等对洁净度要求严苛的制程。
可靠：一体铸造螺杆无间隙，防腐蚀、防颗粒侵入；集成真空增压器，抽速快、极限压力低至 0.003 mbar，大幅缩短工艺时间。
成本优化：维护间隔长、运行成本低，高 uptime 保障生产连续性；紧凑设计与水冷，轻松集成于现有产线。

普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 系列（DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G）真空泵的抽气速率 - 压力特性曲线图表，展示不同型号在不同压力下的抽气速率变化。

普旭 COBRA DS 0700 G 干式螺杆真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 系列真空泵（DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G ）的抽气速率 - 压力性能曲线对比图。横坐标 “p” 代表压力，单位是 hPa（mbar），纵坐标 “Ṽ ” 代表抽气速率，单位是m 3 /h，该图展示了不同型号真空泵在不同压力条件下的抽气速率变化情况。

普旭 COBRA DS 0700 G 干式螺杆真空泵