德国普旭（Busch）COBRA 系列干式螺杆真空泵
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摘要
德国普旭（Busch）COBRA 系列干式螺杆真空泵，凭借专利自平衡螺杆技术实现无油洁净运行，极限压力低至 0.001 hPa，抽速覆盖宽泛。模块化设计支持风冷 / 水冷双模式，智能联控保障稳定低噪，紧凑机身搭配移动脚轮便于部署。适配半导体、光伏、锂电等严苛工业场景，是可靠的真空解决方案，为制程稳定保驾护航。
产品介绍
德国普旭（Busch）COBRA 系列干式螺杆真空泵，专为半导体、光伏等制程设计。采用专利自平衡螺杆技术，实现无油干式运行，极限压力低至 0.001 hPa，抽速覆盖宽泛。模块化设计适配风冷 / 水冷，智能联控系统保障稳定低噪运行，紧凑机身搭配移动脚轮便于部署，是严苛工业真空场景的可靠之选。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 0600 E 真空泵的抽气速率 - 压力特性曲线图表。 图表中横坐标 “p” 代表压力，单位是 hPa（mbar），纵坐标 “Ṽ ” 代表抽气速率，单位是m 3 /h
，展示了该型号真空泵在不同压力下对应的抽气速率情况。
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