爪式干式真空泵
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摘要
爪式干式真空泵 —— 无油洁净真空核心设备：采用爪式转子结构，真空度达高真空级，无油污染适配半导体、精密实验室等洁净场景，运行低噪节能，维护便捷寿命长，是真空系统的可靠之选。
产品介绍
爪式干式真空泵，它是一种无油污染的真空泵，通过爪型转子的啮合运动实现气体抽排，具备洁净、维护简便的特点，主要应用于半导体、电子制造、科研实验室等对真空环境洁净度要求高的场景，是干式真空系统的核心设备之一。
MH 0018 A 型号爪式真空泵的抽速特性曲线，展示了该泵在不同转速（3000~6000 min⁻¹）下，抽（V˙，单位 m³/h）随压差（Δp，单位 bar）变化的规律，用于指导该泵在不同压差工况下的性能评估与系统适配，是真空系统设计的核心技术参考图表之一。
爪式真空泵的安装尺寸图纸，标注了该泵的外形尺寸（L、W、H）、接口位置（IN/OUT 对应进气 / 出气口）及安装相关的结构细节，用于指导该泵在真空系统中的安装与管路连接，是真空设备集成的技术参考文件之一。
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